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一种蒸镀装置.pdfVIP

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  • 2024-05-25 发布于四川
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一种蒸镀装置.pdf

    本申请实施例属于发光器件技术领域，涉及一种蒸镀装置，用于对发光器件的基板进行蒸镀，蒸镀装置包括：蒸镀筒；蒸发源，所述蒸发源设置于所述蒸镀筒内；基板架，所述基板架固定于所述蒸镀筒的内侧壁上；掩模板架，所述掩模板架位于所述基板架与所述蒸发源之间；驱动机构，所述驱动机构与所述蒸镀筒驱动连接，用于驱动所述蒸镀筒转动进而带动所述置料架、掩模板绕所述蒸镀筒的中心轴转动。本申请提供的技术方案能够在基板蒸镀时有效使精细掩模板和基板紧密贴合，以改善蒸镀阴影效应。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220999804U

    (45)授权公告日2024.05.24

    (21)申请号202322625067.1

    (22)申请日2023.09.26

    (73)专利权人广东聚华印刷显示技术有限公司

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