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一种微纳器件加工用俯仰角可调转移对准平台及方法.pdfVIP

一种微纳器件加工用俯仰角可调转移对准平台及方法.pdf

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    本发明提出了一种微纳器件加工用俯仰角可调转移对准平台及方法，涉及微纳器件加工技术领域。包括底座，所述底座一侧设置有XYZ向移动机构，所述XYZ向移动机构的移动末端用于连接阴影遮罩；所述底座另一侧活动连接有承载板，所述承载板上设置有样品台，所述底座与承载板之间设置有弹簧垫片。本发明具有两种调节方式：将阴影遮罩进行XYZ三向平移移动，而样品台上的样品可以进行旋转移动和俯仰角调节；在利用显微镜对准时，用户可将显微镜始终聚焦于样品处，仅移动阴影遮罩使其与样品对准，对准方式更高效、操作更快捷。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118061143A

    (43)申请公布日2024.05.24

    (21)申请号202410229648.X

    (22)申请日2024.02.29

    (71)申请人山东大学

    地址250100

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