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H61

YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/TXXXXX—XXXX

分子束外延（MBE）用高纯铝源

Highpurityaluminumsourceformolecularbeamepitaxy(MBE)

审定稿

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/TXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员

会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本文件起草单位：南通泰德电子材料科技有限公司、广东先导微电子科技有限公司、中科院半导体

研究所、昆明物理研究所。

本文件主要起草人：丁潇、石潇、吴广杰、李清宇、王国伟、赵俊、郑红军、刘京明、董志远

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YS/TXXXX-XXXX

分子束外延（MBE）用高纯铝源

1范围

本文件规定了分子束外延（MBE）用高纯铝源（以下简称高纯铝源）的产品分类、要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于高纯铝源的生产、检测及质量评价。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YS/T871高纯铝化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

分子束外延(MBE)用高纯铝源Highpurityaluminumsourceformolecularbeamepitaxy(MBE)

纯度≥99.99995%的用于分子束外延生长的铝源。

4分类

高纯铝源按其规格分类如下：

a)颗粒：直径＜20mm且长度＜60mm的高纯铝源；

b)型材：直径≥20mm或长度≥60mm的高纯铝源。

5要求

5.1外观质量

5.1.1高纯铝源颗粒为银白色，表面光亮，具有结晶条纹，有金属光泽,无沾污、无划伤、无孔洞、无

夹杂。

5.1.2高纯铝源型材为银白色，表面光亮，具有结晶条纹，有金属光泽,无沾污、无划伤、无孔洞、无

夹杂。

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5.1.3高纯铝源的重量或尺寸要求由供需双方协商确定。

5.2化学成份

高纯铝源的化学成分应符合表1的规定。

表1分子束外延（MBE）用高纯铝源的化学成分

a

Al纯度（质量分数），%，不小于99.99995