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高温退火与表面钝化对A1xGa1-xN/GaN异质结构特性的影响的开题报告

一、研究背景

氮化铝镓（AlGaN）和氮化镓（GaN）异质结构已经作为半导体材料在微电子器件领域得到广泛应用，如高电子迁移率晶体管（HEMT）和紫外光发光二极管（LED）等。然而，在制备AlGaN/GaN异质结构时，常常面临着材料结构和性能方面的问题。其中，AlGaN/GaN异质结构的表面稳定性及其界面接触问题是制备过程中需要重点研究的问题。

高温退火是一种有效的表面处理方法，可用于提高AlGaN/GaN异质结构的稳定性和接触特性。此外，表面钝化技术也被广泛应用于改善AlGaN/GaN异质结构的性能和提高其稳定性。

本研究旨在研究不同退火温度和表面钝化处理对AlGaN/GaN异质结构的结构、电学和光学性质的影响，为优化AlGaN/GaN异质结构在微电子器件领域的应用提供理论和实验依据。

二、研究内容和方法

1.AlGaN/GaN异质结构的制备：采用分子束外延（MBE）技术在蓝宝石衬底上制备AlGaN/GaN异质结构。

2.高温退火处理：通过在不同温度下热处理AlGaN/GaN异质结构，探究高温退火对异质结构的物理和化学性质的影响。

3.表面钝化处理：采用化学表面处理方法对AlGaN/GaN异质结构进行钝化处理，并研究表面钝化处理对异质结构性质的影响。

4.测试和分析：采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、电性测试和光学测试等手段，对退火和钝化处理后的AlGaN/GaN异质结构的结构、电学和光学性质进行测试和分析，并对结果进行比较和分析。

三、预期研究结果

本研究旨在通过比较不同退火温度和表面钝化处理对AlGaN/GaN异质结构的影响，揭示高温退火和表面钝化处理对AlGaN/GaN异质结构结构、电学和光学性质的调控机制。预计研究结果可为AlGaN/GaN异质结构在微电子器件领域的应用提供理论和实验依据，为异质结构的优化设计和加工提供指导。