原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
科盛单晶站操作工艺规程
型号TDR-62D
一.目的：
为正确标准操作单晶炉，确保生产作业正常进展及提高工作效率。二.范围：
适用单晶站所用TDR-62D型单晶炉。三.依据：
依据直拉法生长单晶硅和TDR-62D型单晶炉性能。四.权责单位：
济南科盛电子单晶站。五.直拉单晶硅作业工艺流程：
⒈作业预备→⒉取单晶→⒊石墨件取出冷却→⒋清扫除尘罐→⒌真空泵油检查与更换→
→⒍石墨件清扫→⒎主副炉室清扫→⒏石墨件安装→⒐石英埚装料→⒑装炉→
→⒒抽空→⒓充氩气，升功率，熔料→⒔化完料降功率，温度稳定→
→⒕测电阻率→⒖引晶→⒗放肩，转肩→⒘等径生长→⒙收尾→
→⒚停炉降功率→⒛检
文档评论（0）