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一种碳化硅晶棒磨削夹持组件.pdfVIP

一种碳化硅晶棒磨削夹持组件.pdf

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    本实用新型为一种碳化硅晶棒磨削夹持组件，涉及夹具技术领域。其技术方案为，一种碳化硅晶棒磨削夹持组件，包括粘结板，粘结板一端用于固定待加工晶棒，粘结板另一端能够与连接工装的一端可拆连接，连接工装另一端与锥柄连接，锥柄能够与外圆磨床的主轴连接。本实用新型的有益效果为，碳化硅晶棒磨削夹持组件可以在磨削过程中，用连接工装和锥柄替换掉三爪卡盘，可以避免携带碳化硅粉末的水溶性磨削液磨损三爪卡盘，进而延长三爪卡盘的使用寿命，减少故障的发生。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN221020521U

    (45)授权公告日2024.05.28

    (21)申请号202322492117.3

    (22)申请日2023.09.13

    (73)专利权人山东天岳先进科技股份有限公司

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