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精密水准仪主要用于国家一、二等水准测量和高精度的工程测量中，例如建、构筑物的沉降观测，大型桥梁工程的施工测量和大型精密设备安装的水平基准测量等。我国目前常用的精密水准仪型号主要为DS05和DS1，且使用精密水准仪必须配有相应的精密水准尺。;精密水准仪的结构特征：
1）水准器具有较高的灵敏度。
2）望远镜具有良好的光学性能。
3）具有光学测微器装置。
4）视准轴与水准管轴之间的联系相对稳定。
;精密水准尺一般是在木质尺身的槽内，在一定的拉力引张下安置一根因瓦合金带，合金带上标印有刻划，数字注在木尺上。由于这种合金材料受温度影响较小，因此尺的长度分划基本不受气温变化的影响。
精密水准尺上的分划注记形式（两种）：
1）一种是尺身上刻有左右两排分划，右边为基本分划，左边为辅助分划。基本分划的注记从零开始，辅助分划的注记从某一常数K开始，K称为基辅差。如a)所示，因瓦尺右边注记为0~300cm，为基本分划；左边注记为300~600cm，为辅助分划。;精密水准尺上的分划注记形式：
2）第二种是尺身上两排均为基本划分，如图b)所示，其最小分划为10mm，但彼此错开5mm。尺身一侧注记米数，另一侧注记分米数。这种水准尺上的注记数字比实际长度增大了一倍，即5cm的长度注记为1dm。因此使用这种水准尺进行测量时，要将观测高差除以2才是实际高差。;精密水准仪的操作方法与一般水准仪基本相同，只是读数方法有些差异。
当水准仪精平后，十字丝中丝往往不能恰好对准水准尺上某一整分划线，这时需要转动测微轮使视线上、下平行移动，使十字丝的楔形丝正好夹住一个整分划线（见图），被夹住的分划线读数为m、dm、cm。此时视线上下平移的距离则由测微器读数窗中读出mm位。图中的读数为：
148+0.655=148.655cm=1.48655m
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