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2023年化合物半导体的外延生长设备项目安全评价报告.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目安全评价报告

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    化合物半导体的外延生长设备项目安全评价报告

    目录

    TOC\o1-9概论 3

    一、定性、定量分析评价 3

    (一)、选址及总平面布置单元 3

    (二)、建构筑物单元 5

    (三)、消防系统单元 6

    (四)、公用工程及辅助设施单元 7

    (五)、施工单元 8

    (六)、特种设备单元 9

    (七)、安全管理单元 10

    二、评价单元的划分 12

    (一)、评价单元划分原则 12

    (二)、评价单元划分结果 13

    (三)、评价方法的选择 14

    (四)、评价方法简介 15

    三、安全对策措施及建议 17

    (

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