《高纯铜蒸发料》（预审稿）.pdfVIP

YS/T××××—××××

高纯铜蒸发料

1范围

本文件规定了高纯铜蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包

装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于半导体行业用的高纯铜蒸发料。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期

的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括

所有的修改单)适用于本文件。

GB/T5121.4铜及铜合金化学分析方法碳、硫含量的测定

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GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

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YS/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分类和标记

4.1分类

高纯铜蒸发料的牌号、状态、尺寸应符合表1的规定。

表1牌号、状态及规格

单位为毫米

尺寸

牌号状态

直径长度

Cu5N210320

加工态～～

Cu6N加工态2～103～20

注：需方有其他牌号、状态、尺寸需要时，由供需双方协商确定后在订货单中注明。

4.2标记

高纯铜蒸发料按产品名称、牌号、尺寸的顺序表示。标记示例如下：

示例1：

1

YS/T××××—××××

用Cu5N牌号制造的、直径为3m、长度为3mm的高纯铜蒸发料，标记为：

蒸发料YS/TXXXX—Cu5N，Ф3×3

示例2：

用Cu6N牌号制造的、直径为6mm、长度为15mm的高纯铜蒸发料，标记为：

蒸发料YS/TXXXX—Cu6N，Ф6×15

5技术要求

5.1化学成分

高纯铜蒸发料的化学成分应符合表2的规定。

表2化学成分

牌号Cu5NCu6N

a

Cu（质量分数），不小于

99.99999.9999

%

Ag10.3