原创力文档《氮化镓激光剥离设备GB/T37466-2019》详细解读1范围2规范性引用文件3术语和定义4产品分类和标记4.1分类4.2型号标记contents目录5工作条件5.1电源5.2环境温度5.3相对湿度5.4大气压力5.5洁净室等级5.6电磁干扰contents目录5.7地基振动要求6要求6.1外观6.2激光要求6.3扫描台contents目录6.4整机性能6.5电气要求6.6控制装置6.7软件要求6.8电磁兼容6.9噪声contents目录6.10平均无故障时间6.11安全要求7检测方法7.1外
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