《高真空技术》课件.pptxVIP

《高真空技术》课程简介本课程将全面介绍高真空技术的基础知识和应用领域。我们将探讨高真空的定义和特点、真空泵的工作原理、真空系统的构成和设计要求等基础知识，并深入分析真空计的种类和使用方法、真空测量的技术手段、真空系统的维护和保养等实际应用知识。同时我们还将介绍高真空技术在半导体制造、真空镀膜、真空热处理、真空冶金等领域的广泛应用，以及高真空技术的未来发展趋势。ppbypptppt

高真空的定义和特点高真空的定义高真空指压力低于0.001帕斯卡的真空环境。在这种环境下,气体颗粒数密度极低,自由程极长,分子之间几乎没有碰撞。高真空的特点高真空环境具有极低的气压、极低的分子密度、分子自由程极长、分子间碰撞极少等特点,为实验和制造提供了独特的物理环境。高真空的应用高真空技术广泛应用于电子、真空冶金、真空镀膜、真空检测等领域,为工业生产和科学研究提供了关键的物理条件。

高真空的产生原理1低压抽气利用真空泵对容器持续抽气,逐步降低气体压力至高真空范围。2分子运动特性在高真空环境下,气体分子自由程显著增加,分子间碰撞几乎消失。3吸附去气使用吸附材料对残留气体进行有效吸附,进一步降低容器内的气体压力。4持续泵排通过持续抽气和吸附去气,可维持容器内持续的高真空状态。

真空泵的工作原理压力梯度真空泵利用压力梯度的原理来抽出容器内的气体分子,降低容器内的气压。气体运动真空泵通过各种方式促进气体分子的流动和排出,实现容器内压力的持续降低。吸附作用某些真空泵通过气体分子的吸附和捕获来提高抽气效率,进一步降低压力。

机械泵的类型和特点活塞式机械泵活塞式机械泵利用活塞运动产生压力梯度来抽排气体。其特点是结构简单、制造成本低、抽气速率高。但其最终真空度受限，多用于粗真空和中真空的抽气。罗茨式机械泵罗茨式机械泵利用两个特殊形状的转子产生压力梯度。其特点是抽气速率大、压缩比高、可以达到高真空级别，适用于高真空的抽气。螺杆式机械泵螺杆式机械泵由两个互相啮合的螺旋转子产生压力梯度。其特点是结构紧凑、运转平稳、可靠性高,适用于多种真空工艺的抽气。涡轮分子泵涡轮分子泵利用高速旋转的转子与气体分子的动量交换来抽排气体。其特点是能够达到超高真空级别,适用于超高真空的应用场景。

分子泵的类型和特点涡轮分子泵高速旋转的涡轮与气体分子作动量交换,产生压力梯度和流动,可达到超高真空。适用于需要极高真空度的场合。离子泵利用离子化和电场捕获气体分子的原理工作。具有无油、无污染的特点,适用于超高真空和无污染要求的场合。吸附泵利用气体分子在固体表面的吸附作用抽取气体。适用于超高真空领域,能达到极低的残余气压。

离子泵的类型和特点Penning型离子泵Penning型离子泵利用电场和磁场将气体分子电离并捕获。具有无油、低噪音、长寿命等优点,适用于超高真空及电子工业等领域。溅射型离子泵溅射型离子泵利用金属溅射作用吸附和捕获气体分子。结构简单、可靠性高,常用于半导体等超高真空应用。贵气体二极管离子泵贵气体二极管离子泵利用电子轰击将气体分子电离并吸附在阴极上。结构紧凑、无油、可达到超高真空。

真空系统的构成真空容器真空系统的核心组件是真空容器,用于维持所需的高真空环境。真空容器一般由坚固的金属或玻璃材料制成,能承受较高的内外压差。真空泵真空泵是用于持续抽取真空容器内气体分子的关键设备。常见的有机械泵、分子泵和离子泵等多种类型。选用合适的真空泵是关键。真空阀门真空阀门用于控制真空容器内外的气体流通。根据不同的应用需求,真空阀门有手动、电动和气动等多种驱动方式。真空计真空计是用于监测和测量真空环境压力的仪表。不同类型的真空计适用于不同真空度范围,是真空系统不可或缺的一部分。

真空系统的设计要求可靠性真空系统必须能够稳定、可靠地运行,确保在恶劣环境下也能维持所需的真空度。高效性真空系统应该具有高抽气速率和高压缩比,以缩短达到所需真空度的时间。耐用性各个部件应具有长寿命和耐磨性,减少维护和更换的频率。安全性真空系统必须具备完善的安全保护机制,防止事故发生和人员受伤。

真空系统的安装与调试系统安装根据实际应用场景和需求,合理规划真空系统的布局和连接。确保各部件安装牢固、连接可靠。性能调试针对不同部件进行调试和校准,优化系统参数以达到最佳抽气速率和真空度。系统检查定期检查管路、密封件、控制系统等,及时发现并解决问题。确保系统长期稳定运行。

真空系统的维护与保养1定期检查定期检查真空系统各部件的状态,及时发现并解决故障隐患。2润滑保养按制造商要求定期为机械泵等运动部件进行润滑,延长使用寿命。3清洁维护及时清理系统内部积聚的污垢和杂质,保持系统内部清洁。4零件更换根据使用情况及时更换磨损的密封件、滤芯等易损件。

真空计的种类和原理1热电离真空计利用热电离效应,将气体分子电离并检测离子电流来测量真空度。适用于中