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不同尺寸SiGeHBTGummel图的参数提取

李垚

【摘要】承受分子束外延法成功制备出非抱负因子近似为1的台面型SiGeHBT,测量了正常尺寸和大尺寸两种晶体管的Gummel曲线和沟通曲线,并测出其截止频率.运用物理公式变换法对Gummel图进展参数提取,包括非抱负因子,集电极和基极串联电阻,集电极和基极反向饱和电流等,其中基极反向饱和电流包括集中项和复合项两局部.将参数提取结果与资料上的理论值进展了比较,结果根本全都,验证了提参结果的正确性,同时觉察集中电流项与面积成正比,而复合电流项与周长成正比.比较了不同尺寸SiGeHBT的参数提取技术,对大尺寸器件提