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大直径硅单晶及抛光片项目可行性研究方案
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大直径硅单晶及抛光片项目可行性研究方案
目录
TOC\h\z15348序言 3
6847一、工艺方案的选择 3
8411(一)、基本要求 3
6591(二)、典型工艺技术介绍 5
30041(三)、大直径硅单晶及抛光片项目组成 6
6125(四)、工艺技术方案的选择 7
14200(五)、工艺技术方案的设计 9
3251二、投资估算与资金筹措 10
21598(一)、投资估算依据及范围 10
15994(二)、固定资产投资总额 12
14145(三)、铺底流动资金和建设
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