GBT-电子气体 惰性稀有气体.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXX—XXXX

电子气体惰性稀有气体

Electronicgas—noblegas

点击此处添加与国际标准一致性程度的标识

征求意见稿

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/TXXXX—XXXX

前  言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位：。

本文件主要起草人：。

1

GB/TXXXX—XXXX

电子气体惰性稀有气体

1范围

本文件规定了电子用惰性稀有气体的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、

贮存及安全信息的要求。

本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的电子用惰性稀有气体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件

GB190危险货物包装标志

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GB/T7144气瓶颜色标志

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GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

GB/T11640铝合金无缝气瓶

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB/T14194压缩气体气瓶充装规定

GBl5258化学品安全标签编写规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T43306气体分析采样导则

TSG23气瓶安全技术规程

3术语和定义

3.1

惰性稀有气体noblegas

包括氪、氖、氙。

4技术要求

2

GB/TXXXX—XXXX

惰性稀有气体的技术要求应符合表1～表3的规定。

表1氪技术要求

项目