GBT-电子气体 砷化氢.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

GB/T26250—XXXX

代替GB/T26250-2010

电子气体砷化氢

Electronicgas—Arsine

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征求意见稿

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T26250—XXXX

前  言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件代替GB/T26250-2010《电子工业用气体砷化氢》，与GB/T26250-2010相比，除结构调整

和编辑性改动外，主要技术变化如下：

——更改了名称（见封面，2010年版的封面）；

——更改了范围（见第1章，2010年版的第1章）；

——更改了规范性引用文件（见第2章，2010年版的第2章）；

——增加了“术语和定义”一章（见第3章）；

——更改了技术要求（见第4章，2010年版的第3章）；

——更改了采样的要求（见第5章，2010年版的4.1.2）；

——更改了纯度计算方法（见6.1，2010年版的4.2）；

——更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、磷化氢含量的测定方法（见6.2，2010年版

的4.4、4.5、4.8）；

——增加了乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、硫化氢含量的测定方法（见6.2）；

——更改了金属元素的测定方法（见6.5，2010年版的4.9）；

——删除了颗粒的测定（2010年版的4.10）；

——增加了检验规则（见第7章）；

——更改了标志、包装、运输及贮存（见第8章,2010年版的第5章）；

——增加了安全信息（见8.3）。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位：。

本文件主要起草人：。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：

——2010年首次发布为GB/T26250-2010；

——本次为第一次修订。

I

GB/T26250—XXXX

电子气体砷化氢

1范围

本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及

安全信息的要求。

本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件

GB190危险货物包装标志

GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶

GB/T5832.3气体