(6.2)--6.3 实验：电感耦合等离子体ICP-MS主要操作.pdf

ICP-MS主要操作

型号：iCAP-RQ是型号，ICP三个系列Q、RQ、TQ，功能依次递增，RQ相当于标准版。

功能：PPB级分析(10亿分之一)，工作站屏幕显示的周期表中元素均可分析。

原理：通过不同离子的质荷比确定元素，测其含量。

系统组成：

ICP主机，提前开机运行12小时以上以达到真空度要求。若一个月不用仪器可

关机，一两周不用仪器也不必关机，因为真空消失后，对检测器有损坏。

循环水机，配件，由于产生高温高热，起制冷作用，通过两个管路，通入仪器中

降温，流量5升每分钟，水机压力在0.5－0.6MPa，若不满足条件，仪器不允

许操作。打开冷却水开关水压75－85psi(psi英磅/平方英寸，14.5psi=0.1Mpa

≈1bar)之间，温度18－22℃之间

真空泵，若带正电离子束碰到空气其它原子、分子，带正电离子束会消失，故需

要真空系统。打开ICP主机电源后，它会自动开启，主机要提前开机运行12小

时以上才能达到真空度要求。

氩气瓶，形成等离子体需要氩气，高纯五个9，有两个氩气瓶串联，一个工作，

一个备用，两个瓶的总阀和减压阀均打开。一个氩气钢瓶用4－5个小时。当工

作瓶总压阀小于2MPa时应把其关闭，更换为备用气瓶，减压阀的压力为0.55

－0.6MPa，当减压阀更换连接气瓶时，应打开气瓶阀门吹走气瓶连接处的灰尘。

更换气瓶前打开总阀勿对人冲两三次，吹走颗粒物，气瓶总阀要开到底，两个瓶

先用哪个的调整方法：减压阀或增大到稍动一下然后返回让另一阀优先，或在原

有压力下再增大一点让自身优先。

氦气瓶，反应气体，可根据需要打开或关闭，高纯五个9，氦气用量小，能用一

两年。氦气减压阀为0.15MPa，提前1小时打开，氩氧结合为56，铁也为56，

加入氦气后，碰到氦气，把氩氧撞开，消除分子的干扰。氦气只有在碰撞，即

KED模式下、动能歧视模式下才开，STD模式下只用氩气，当减压阀更换连接

气瓶时，应打开气瓶阀门吹走气瓶连接处的灰尘。

1查看

温度：环境温度22－25℃

湿度：环境湿度40－65%，湿度低放电，湿度高产生冷凝水，冷却水流入电路会短路。空

调不要直吹仪器

开排风

开循环冷却水：水压75－85psi，温度18－22℃

稳压电源：220V，零地电压小于5V

氩气：减压阀可不再动0.55－0.6MPa。

氦气：0.15MPa提前1小时打开

打开电脑,双击Instrumentcontrol栏

用engineeringtest界面观察参数

打开vaccum真空度项

（1）turbopumpspeed(分子涡轮泵转速)达到约1000Ｈz，（999.98达到要求）

（2）Pirani（普兰尼压力）Pressure低于1e+002mbar(张工说可不看此项指标)

（3）penning（潘宁锥）pressure低于低于7e-007mbar就可以了

打开RFGenerator(射频发生器线圈)项

开排风后，确认plasmaexhaust（等离子体风量）值在0.4－0.7mbr之间（小无法运行，

大则影响等离子体形状）0.3以下仪器不允许点火操作

若长时间不开机点火，可打开冷却气(coolgas隔开火焰和外层管,防止烧化炬管)和辅助气

(Auxilliarygas,将火焰往上推)（分别对应炬管两个洞）吹走里面的空气。(左右调节倒三角，

红色代表未达到要求，绿色为到达要求)，点击gasflow，将三种气体调至最大，待1min

以上，将炬管中的空气吹走，然后调到零（最小）

将进样管（直径大的）放到超纯水中，注意区分内标管（直径小的），勿放错，放错的后果

是自动调谐锂钴铟铀能量强度变小，用完滚轮卡槽松开即可。泵管到位。

门关闭

打开点火监控

2点火

确保门关闭，进样系统安好