薄膜知识点汇总.docx

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第一章

1.真空的定义及其度量单位

概念:利用外力将肯定密闭空间内的气体分子移走,使该空间内的气压小于1

个大气压,则该空间内的气体的物理状态就被称为真空。真空,实际上指的是一种低压的、淡薄的气体状态。

目前标准大气压定义:0摄氏度时,水银密度13.59509g/cm3,重力加速度

980.665cm/s2时,760mm水银柱所产生的压强为1标准大气压。

1atm=1.01*105Pa=760Torr=1.0133*106微巴

低真空105-102 气态空间近似为大气状态,分子以热运动为主,分子之间碰撞频繁。低真空,可以获得压力差而不转变空间的性质。

中真空102

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