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半导体工艺实习试验指导书
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\l“_TOC_250017“前言 2
\l“_TOC_250016“原理篇 3
\l“_TOC_250015“氧化 5
集中 7
\l“_TOC_250014“光刻和刻蚀 10
\l“_TOC_250013“薄膜淀积 14
\l“_TOC_250012“操作篇 16
\l“_TOC_250011“半导体工艺操作本卷须知 16
\l“_TOC_250010“试验设备、仪器和使用工具清单 18
\l“_TOC_250009“NPN双极性晶体管制备工艺流程卡 19
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