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半导体工艺流程课程设计
引言
半导体材料
半导体工艺流程
工艺参数与设备
工艺优化与改进
课程设计总结与展望
引言
理论联系实际
通过课程设计，学生可以将所学的半导体理论知识与实际工艺流程相结合，加深对半导体的理解。
培养实践能力
课程设计为学生提供了一个实践平台，通过实际操作，学生可以锻炼动手能力和解决问题的能力。
培养创新思维
在课程设计中，学生需要独立思考和探索，这有助于培养他们的创新思维和创新能力。
半导体材料
01
介绍常见的半导体材料，如硅、锗等，以及它们在半导体工艺中的应用。
02
基本工艺流程
介绍半导体制造的基本流程，包括晶圆制备、外延生长、掺杂、热处理等。
03
关键工艺技
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