2009jc备课_7薄膜应用_薄膜材料与薄膜技术-3th.pptx

薄膜材料与技术

ThinFilmandTechnology

邹友生材料科学与工程系

郑伟涛等编著,《薄膜材料与薄膜技术》,化学工业出版社，2004

南京理工大学

NmjingUanemiyofSciseeandTeedaokeg

金刚石薄膜

透明导电氧化物薄膜

GaN基薄膜材料

非晶硅(a-Si:H)半导体薄膜装饰及耐磨薄膜

有机电致发光薄膜

薄膜材料及

其应用

第七章

南京理工大学

NmjingUahunsiyafSriseadTedaokges

7薄膜材料及其应用

·薄膜技术及薄膜材料已经涉及电子、计算机、磁

记录、信息、传感器、能源、机械、光学、航空、航天、核工业等各个部门。

●薄膜材料已大量用于电子器件和大规模集成电路

之外，还用于巨磁膜、绝缘膜、电介质膜、压电和铁电膜、光学膜、超硬膜、抗蚀和自润滑膜、装饰膜及各种特殊需要的功能膜。

南京理工大学

NamjingUanamiyafSciaeeandTeedaokgg

Superconducting

ChemicalElectrical

MechanicalElectronic

StudyofpropertiesThermal

Newmaterials

Bio

Environmental

南京理工大学

NanjingUanunsityafSiseeandTredaolgo

Applicatiorg

Magnetic

Decorative

Optical

四面体结构：共价键，键长为1.54A,键角为109028’。

晶格常数为a=3.56A

W不江一八于

NanjingUainersityafScisaceandTeedaokgs

7.1金刚石薄膜及其应用

(1)金刚石结构

·十分接近天然金刚石的最高的硬度和弹性模量、低的

摩擦系数、室温下极高的热导率和电阻率、最高的声波速度、低的介电常数、高击穿电压、高的载流子迁移率、掺杂后可成为卓越的P型或N型半导体、极佳的化学惰性、高的光学透射率和负电子亲和势等。

·金刚石膜集力学、电学、热学、声学、光学、耐蚀等

优异性能于一身，是一种难得的功能薄膜材料，在机械，航空航天、微电子、光电子和生物医学等高新技术领域具有重要的应用。

(2)金刚石薄膜的性质

南京理工大学

NmjingUanunityafSiseeadTedaokegy

力学性能

天然金刚石

CVD金刚石薄膜

硬度/GPa

100

80～100

密度/g·cm³

3.515

2.8～3.5

熔点/℃

4000

接近4000

弹性模量/Pa

1.04×1012

接近1.04×1012

杨氏模量/GPa

1200

1050～1200

纵波声速/m·s

18000

18500

泊松比

0.2

0.2

摩擦系数

0.08~0.15

0.1

抗拉强度/σ

约3GPa

200～400MPa

线膨胀

系数

300K

500K

1000K

1.0×10-6/K2.7×10-6/K4.4×10-6/K

1.0×10-6/K

2.7×10-6/K

4.4×10-6/K

天然金刚石和CVD金刚石薄膜的主要力学性质

南草理工大学

NamjingUaiersityafScisaeeandTecdnokgs

金刚石的(a)硬度与(b)热导率和其他硬质材料的比较。

Ther.Cond.(w/cmK)

Hardness(GPa)

南京理工大学

NanjingUanurityafScisseeandTednokgg

电学性能

天然金

刚石

CVD金

刚石膜

Ge

Si

GaAs

晶格常数/A

3.567

3.57

5.64613

5.43095

5.6533

禁带宽度/e·V

5.45

5.45

0.66

1.12

1.43

击穿电场/V·cm1

3.5×106

1×107

~105

~3×105

~4×105

电阻率/Ω·cm

1016

1012

A2

2.5×105

4×108

介电常数

5.5

5.5

16

11.8

13.1

电子迁移率/

cm²·(V·s)-1

2200

1900

3900

1500

8500

空穴迁移率/

cm²·(V·s)-1

1600

1600