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基于相位跟踪反馈机理的超精密定位系统研究综述报告;;;引言;;;研究目的;超精密定位技术基础;发展历程;;;相位跟踪反馈机理研究;;;;基于相位跟踪反馈的超精密定位系统设计与实现;设计思路;;;将相位检测模块、相位跟踪反馈控制器和超精密定位执行机构进行集成，构建完整的超精密定位系统。;基于相位跟踪反馈的超精密定位系统性能分析;;;;基于相位跟踪反馈的超精密定位系统实验研究;;;;总结与展望;;;优化了相位跟踪算法，降低了误差累积，提高了定位精度。;;;;;THANKS.
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