生产单晶硅制备及其应用工艺技术模板.docVIP

生产单晶硅制备及其应用工艺技术模板.doc

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01805741.1???单晶硅晶片及单晶硅制造方法

2??6???绝缘体上单晶硅(SOI)材料制造方法

3??0???分离单晶硅埚底料中石英工艺

4??3???单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成制作方法

5??0???直径300mm及300mm以上单晶硅晶片及其制造方法

6??6???抑制长大直径单晶硅生长条纹直拉生长装置

7????掺金、掺铂单晶硅交换热敏电阻及其制作方法

8??9???单晶硅制造方法和设备

9??4???一个单晶硅压力传感器制造方法及其结构

10??9???单晶硅生产装置

11??9???制造单晶硅设备

12??4???单晶硅直径测定法及其设备

13??2???单晶硅直径控制法及其设备

14??9???单晶硅生产设备

15??0???单晶硅生产设备

16??4???单晶硅生产设备

17??7???制造单晶硅装置

18??7???单晶硅上大面积(100)取向金刚石膜生长方法

19??1???单晶硅锭及其制造方法

20??1???提拉单晶硅装置

21??9???直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧一氧化硅探针

22??6???双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法

23??4???经过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片方法及其产品

24??2???单晶硅-纳米晶立方氮化硼薄膜类P-N结及其制作方法

25??4???低浓度钙杂质石墨支撑容器及其在制造单晶硅中应用

26??2???单晶硅片抗机械力提升

27??7???生长富空位单晶硅热屏蔽组件和方法

28??3???用于单晶硅生长非Dash缩颈法

29??9???形成单晶硅层方法和制造半导体器件方法

30??X???热退火后低缺点密度单晶硅

31??9???从低缺点密度单晶硅上制备硅-绝缘体结构

32??X???标定单晶硅晶圆晶向方法

33??7???制备含有均匀热过程单晶硅方法

34??5???单晶硅片衬底磁控溅射铁膜合成二硫化铁制备方法

35??6???单晶硅高效复合切割方法及其切割系统

36??9???新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池

37??3???过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻

38??6???单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池

39??0???单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池

40??7???单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池

41???1????单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池?

42???3????超声波清洗单晶硅片方法及其装置?

43???3????使用金属污染及热处理识别单晶硅中晶体缺点区方法?

44???5????可反射出色域电极结构和单晶硅面板和显示装置?

45???6????单晶硅生长方法?

46???6????单晶硅薄膜及其组件制备方法?

47???1????单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构?

48???5????提升单晶硅太阳能电池减反射膜质量方法?

49???4????改善半导体单晶硅研磨硅片平行度方法及其装置?

50??????非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置?

51??????制备单晶硅片表面完整层新路径?

52???2????一个直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器?

53???0????区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构?

54???9311.6????单晶硅太阳

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