集成电路或分立元件平面凸点式封装工艺及其封装结构.pdfVIP

集成电路或分立元件平面凸点式封装工艺及其封装结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1725460A

(43)申请公布日2006.01.25

(21)申请号CN200510040261.7

(22)申请日2005.05.27

(71)申请人江苏长电科技股份有限公司

地址214431江苏省江阴市滨江中路275号

(72)发明人王新潮于燮康梁志忠谢洁人陶玉娟葛海波王达

(74)专利代理机构江阴市同盛专利事务所

代理人唐纫兰

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

集成电路或分立元件平面凸点式封

装工艺及其封装结构

(57)摘要

本发明涉及一种集成电路或分立元

件平面凸点式封装工艺及其封装结构,工

艺步骤:取一片金属基板材(1)正、背两面

各自贴上干膜层(2、3),将上层的部分干

膜去除掉,准备形成基岛及引脚,正面镀

上金属层(4.1、4.2),去除金属基板(1)上层

余下的干膜,半蚀刻,去除基板背面的干

膜层(3),芯片(6)的植入,打金属线(7),包

封塑封体(8)作业,在金属基板(1)背面再次

贴上干膜层(10),半蚀刻区(1.3)背面的干

膜,半蚀刻区(1.3)余下部分的金属(1.4)再

次进行蚀刻,从而使基岛(1.1)及引脚(1.2)

的背面凸出于塑封体(8),去除余下的干

膜,表面镀上金属层(11.1、11.2),塑封体

(9)正面贴上胶膜(12),切割。本发明焊性

能力强、品质优良、成本较低、生产顺

畅、适用性较强、多芯片排列灵活、不会

发生塑封料渗透的种种困扰。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

专利权的转移IPC(主分

类):H01L21/50专利

号:ZL2005100402617登记生效

日更事项:专利权人

变更前权利人:江苏长电科技股份

专利申请权、专利权

2022-11-25有限公司变更后权利人:长电科技

的转移

管理有限公司变更事项:地址变更

前权利人:214434江苏省无锡市

江阴市澄江镇长山路78号变更后

权利人:201201上海市浦东新区

集创路200号1幢111室

权利要求说明书

Claim1、一种集成电路或分立元件平面凸点式封装工艺,其特征在于它包括以

下工艺步骤:

——取一片金属基板材(1),

——在金属基板(1)的正、背两面各自贴上干膜层(2、3),

——将金属基板(1)上层的部分干膜去除掉,在金属基板(1)上准备形成基岛及引脚,

——在金属基板(1)上准备形成的基岛及引脚区域的正面镀上金属层(4.1、4.2),

——去除金属基板(1)上层余下的干膜,

——对上道工序中去除干膜的区域进行半蚀刻,在金属基板(1)上形成凹陷的半蚀

刻区(1.3),同时相对形成基岛(1.1)及引脚(1.2),

——去除基板背面的干膜层(3),

——在金属基板(1)的基岛(1.1)正面金属层(4.1)上进行芯片(6)的植入,制成集成电

路或分立元件的列陈式集合体半成品,

——将已完成芯片植入作业的半

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