用于大直径硅片储存和运输的包装容器.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1749118A

(43)申请公布日2006.03.22

(21)申请号CN200510088968.5

(22)申请日2005.08.04

(71)申请人北京市塑料研究所

地址100009北京市西城区旧鼓楼大街47号

(72)发明人孙卫东黄萍王华朱道峰刘哲伟刘秋晨

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

B65D81/03

B65D85/30

B65D25/10

B65D43/02

H01L21/68

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

用于大直径硅片储存和运输的包装

容器

(57)摘要

本发明涉及一种硅片包装容器，包

括：一个箱体，包括前部开口和带有开口

的后部面板；两个平板端壁，其中一个端

壁外侧成型有Y型定位卡口；两面相对立

的侧壁，侧壁上包含多个有固定间距的齿

条；一个用于密封箱体前部开口的前盖；

一个用于密封箱体后部面板开口的后盖；

两个用于衬托硅片的衬垫；三只用于定位

箱体的卡件。该包装容器用于硅片生产过

程，提高了生产效率，并使硅片取放方

便。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

Claim1.一个硅片包装容器，其特征在于：

一个箱体，包括前部开口和带有开口的后部面板；两个平板端壁，其中一个端壁外

侧成型有Y型定位卡口；两面相对立的侧壁，侧壁上包含多个有固定间距的齿条；

一个用于密封箱体前部开口的前盖；

一个用于密封箱体后部面板开口的后盖；

两个用于衬托硅片的衬垫；

三只用于定位箱体的卡件。

Claim2.根据权利要求1所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器的后

盖为推拉式门。

Claim3.根据权利要求1或2所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器

前盖(2)与箱体(1)连接时，其最外圈的凸缘(21)与箱体前部开口(11)的环圈(111)相配

合，两侧的卡舌(24)通过其“之”字形斜面与箱体前部开口(11)的窄边(114)卡紧，而

前盖(2)内面的一圈凹槽(23)将箱体前部开口(11)的凸棱(113)套住，形成的两层密封

面。

Claim4.根据权利要求3所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器上盖

的衬垫上具有相互完全分离的同硅片直径相对应的弧形槽。

Claim5.根据权利要求1或2所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器

后部衬垫有用于支持硅片的锯齿(53)，锯齿底部为与硅片直径相应的一弧面。

Claim6.根据权利要求1所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器的定

位卡件(6)反面为在平环(61)处凸起的同心椭圆环体(62)和六棱环体(63)，其中六棱

环体(63)与平板端壁(13)的六边形围栏(131)尺寸相配，卡在六边形围栏(131)的内部，

椭圆环体(62)则套在六边形围栏131的外部。

说明书

所属技术领域

本发明涉及研制一种硅片的包装容器以用于该硅片的储存和运输，特别是大直径的

硅片，如12英寸硅片。要求盛装硅片的容器可以保证在硅片生产过程中，无论遇

到撞击、倾倒还是振动，其内部装载的硅片都不会损伤，而且要求该容器是密封的，

以保证硅片不被外界的污染源所污染。

背景技术

硅材料是半导体材料发展的基础，也是集成电路(IC)产业发展的基础。IC的发展是

靠提高产品性能和降低生产成本来达到的。缩小特征尺寸和使用更大直径的硅片是

主要手段。因此大直径是今后硅材料发展的趋势。

在硅片生产过程中，经常遇到将硅片从一道工序，运送到另一道工序的问题。以前

使用的硅片包装容器都是用于较小直径的硅片的储存和运输，而对于大直径硅片，

由于体