HGT 6324-2024《高纯工业品 无水氟化氢》.docxVIP

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HG

中华人民共和国化工行业标准

HG/TXXXX—XXXX

高纯工业品无水氟化氢

Highpurityindustrialproduct—Anhydroushydrogenfluoride

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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HG/TXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国石油和化学工业联合会提出。

本文件由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会（SAC/TC63/SC1）归口。

本文件起草单位：中巨芯科技股份有限公司、佛山市质量计量监督检测中心、多氟多新材料股份有限公司、贵州川恒化工股份有限公司、蓝保（厦门）水处理科技有限公司、浙江凯圣氟化学有限公司、福建永晶科技股份有限公司、莹科新材料股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司。

本文件主要起草人：张学良、陈国成、李云峰、唐晓林、施栋樑、赵晓亚、刘春花、朱建平、张广第、朱智敏、薛旭金、戴应强、蒋梁疏、刘世鹏、张丽春、张雪刚、郭凤鑫、李霞、赵美敬。

2

HG/TXXXX—XXXX

高纯工业品无水氟化氢

警告：按GB12268—2012第6章的规定，本产品属于第8类腐蚀性物质，次要危险性为第6类6.1项毒性物质。操作时应小心谨慎！如溅到皮肤或眼睛上应立即用水冲洗，严重者应立即就医。使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了高纯工业品无水氟化氢的要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输、贮存。

本文件适用于高纯工业品无水氟化氢。

注：该产品主要用于集成电路制造中二氧化硅的蚀刻和炉管清洗等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5100钢质焊接气瓶

GB/T6682—2008分析实验室用水规格和试验方法GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T26571特种气体储存期规范

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

HG/T3696.2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准溶液的

制备

JJF1159四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

3

HG/TXXXX—XXXX

4分子式和相对分子质量

分子式：HF

相对分子质量：20.01（按2022年国际相对原子质量）

5要求

高纯工业品无水氟化氢按本文件规定的试验方法检测应符合表1的要求。

表1

项目

指标

优等品

一等品

合格品

氟化氢（HF）φ/%

≥

99.999

99.995

99.995

水分（H2O）φ/10-6

≤

1.0

5.0

5.0

氧+氩（O2+Ar）φ/10-6

≤

1.0

10.0

10.0

氮（N2）φ/10-6

≤

4.0

20.0

20.0

二氧化碳（CO2）φ/10-6

≤

2.0

5.0

5.0

一氧化碳（CO）φ/10-6

≤

1.0

5.0

5.0

烃（以CH4计）φ/10-6

≤

1.0

5.0

5.0

铝（Al）/(μg/kg）

≤

1.0

10.0

50.0

砷（As）/(μg/kg）

≤

3.0

10.0

50.0

钙（Ca）/(μg/kg）

≤

1.0

10.0

50.0

镉（Cd）/(μg/kg)

≤

1.0

10.0

50.0

铬（Cr）/(μg/kg）

≤

1.0

10.0

50.0

铜（Cu）/(μg/kg）

≤

1.0

10.0

50.0

铁（Fe）/(μg/kg）

≤

1.0

10.0

50.0

钾（K）/