HGT 6329-2024《高纯工业品四氯化钛》.docxVIP

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HG

中华人民共和国化工行业标准HG/TXXXX—XXXX

高纯工业品四氯化钛

Highpuritytitaniumtetrachlorideforindustrialuse

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

I

HG/TXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国石油和化学工业联合会提出。

本文件由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会（SAC/TC63/SC1）归口。

本文件起草单位：贵阳精一科技有限公司、佛山市质量计量监督检测中心、贵州理工学院、浙江水知音环保科技有限公司、厦门市蓝水灵环保科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司。

本文件主要起草人：张建刚、李芳芳、舒骁骥、汤李波、陈嘉宾、李建军、弓创周、向东、苏向东、侯廉杰、高山、赵永胜、丁灵、安晓英、马义虔、周加规、张凯、李海嘉。

1

HG/TXXXX-XXXX

高纯工业品四氯化钛

警告：根据GB12268—2012第6章的规定，本产品属第6类6.1项毒性物质，受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气，有较强的腐蚀性。使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了高纯工业品四氯化钛的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、标签及随行文件、包装、运输、贮存。

本文件适用于高纯工业品四氯化钛。

注：该产品主要用作半导体集成储存器的生产与制造过程中作为氮化钛、二氧化钛和钛金属化学气相薄膜沉积(CVD)的液相钛源材料，也用于太阳能光伏电池的制备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190—2009危险货物包装标志

GB/T191—2008包装储运图示标志GB/T6678化工产品采样总则

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T11446.1—2013电子级水

GB12268—2012危险货物品名表

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T30903—2014无机化工产品杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分子式和相对分子质量

分子式：TiCl4

相对分子质量：189.67（按2022年国际相对原子质量）

5分类

2

HG/TXXXX-XXXX

高纯工业品四氯化钛分为两种型号：

——Ⅰ型（7N），纯度（基于阳离子）不小于99.99999%，主要用于半导体集成储存器制备；——Ⅱ型（6N），纯度（基于阳离子）不小于99.9999%，主要用于太阳能光伏电池制备。

6要求

6.1外观：无色或微黄色液体。

6.2高纯工业品四氯化钛按本文件规定的试验方法检测应符合表1的规定。

表1

项目

指标

Ⅰ型（7N）

Ⅱ型（6N）

四氯化钛纯度（基于阳离子）w/%

≥

99.99999

99.9999

锂（Li）w/(μg/kg）

≤

2

10

钠（Na）w/(μg/kg）

≤

5

30

钾（K）w/(μg/kg）

≤

5

30

镁（Mg）w/(μg/kg）

≤

2

10

钙（Ca）w/(μg/kg）

≤

5

30

铝（Al）w/(μg/kg）

≤

2

10

钒（V）w/(μg/kg）

≤

5

30

铬（Cr）w/(μg/kg）

≤

2

10

锰（Mn）w/(μg/kg）

≤

2

10

铁（Fe）w/(μg/kg）

≤

2

20

钴（Co）w/(μg/kg）

≤

2

10

镍（Ni）w/(μg/kg）

≤

2

10

铜（Cu）w/(μg/kg）

≤

5

30

锌（Zn）w/(μg/kg）

≤

5

30

锆（Zr）w/(μg/k