一种快速扫描原子力显微检测方法及系统.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN104849499A

(43)申请公布日2015.08.19

(21)申请号CN201510228696.8

(22)申请日2015.05.07

(71)申请人浙江大学

地址310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号

(72)发明人王英达尤清扬王旭龙琦章海军

(74)专利代理机构杭州求是专利事务所有限公司

代理人张法高

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种快速扫描原子力显微检测方法

及系统

(57)摘要

本发明公开了一种快速扫描原子力

显微检测方法及系统。它包括快速扫描原

子力显微检测主体探头、光电流/电压转换

放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快

速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模

块、计算