半导体射频电源行业专题报告：激荡频波，驭势而行！精选版.docVIP

（/天风，朱晔、张钰莹）

射频电源：高技术壁垒核心零部件

射频电源（RFPowerSupply）：高技术壁垒核心零部件

电源：给电气或电子设备提供电力的装置，主要作用是将电网、发电机、电池等发出的一次电能转换为可供用电设备使用的二次电能。电源按输出类型可分为直流电源和交流电源，而交流电源按照频率大小可以分为中频电源、射频电源、微波电源。

射频电源：可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。

射频电源应用领域：射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、P