应力测试方法和测试装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101923141A

(43)申请公布日2010.12.22

(21)申请号CN201010198524.8

(22)申请日2010.06.07

(71)申请人国际商业机器公司

地址美国纽约

(72)发明人K·B·阿加瓦尔N·哈比布J·D·海斯J·G·麦西A·W·斯特朗

(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所

代理人于静

(51)Int.CI

G01R31/28

G01R31/26

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

应力测试方法和测试装置

(57)摘要

本发明涉及一种应力测试方法和测

试装置。提供了在使用晶片级测试设备时

以快速而简化的方式获得晶片级统计数据

的系统和方法。所述系统和方法对给定芯