光刻机同步时序控制串行数据通讯方法和系统及应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1851559A

(43)申请公布日2006.10.25

(21)申请号CN200610027273.0

(22)申请日2006.06.02

(71)申请人上海微电子装备有限公司

地址201203上海市张江高科技园区张东路1525号

(72)发明人池峰陈勇辉林科吴小健

(74)专利代理机构上海智信专利代理有限公司

代理人王洁

(51)Int.CI

G03F7/20

G06F13/42

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

光刻机同步时序控制串行数据通讯

方法和系统及应用

(57)摘要

一种光刻机同步时序控制的串行数

据通讯系统，同步总线控制器通过同步数

据总线实时向工件台运动控制卡、掩膜台

运动控制卡、对准运动控制卡发布同步信

息，运动控制卡接收到同步总线控制器的

伺服间隔同步信号和状态同步信号，分别

综合成光纤触发信号和状态信号，发送给

下层I/O控制板、对准控制系统和调平调

焦控制系统。本发明实现了一种步进扫描

投影光刻机多个控制单元之间的实时数据

通讯及其同步控制。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、一种光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，其特征在于：

上位机与工控机CPU互连，工控机CPU板和同步总线控制器、运动控制卡、激光

计数卡连接在一起，同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间相连接并可进

行数据交换，运动控制卡和对应的下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制

系统通过串行数据链接相连。

同步总线控制器通过同步数据总线实时向工件台运动控制卡、掩膜台运动控制卡、

对准运动控制卡发布同步信息，运动控制卡接收到同步总线控制器的伺服间隔同步

信号和状态同步信号，分别综合成光纤触发信号和状态信号，发送给下层I/O控制

板、对准控制系统和调平调焦控制系统。

2、如权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，

其特征在于所述的上位机与工控机CPU板通过工业以太网通信方式互连。

3、如权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，

其特征在于所述的工控机CPU板和同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之

间采用虚拟模式扩充总线连接在一起。

4、如权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，

其特征在于所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间采用同步数据总

线进行数据交换。

5、如权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，

其特征在于所述的运动控制卡包括工件台运动控制卡、对准运动控制卡和掩膜台运

动控制卡，下层I/O控制板包括工件台下层I/O控制板和掩膜台下层I/O控制板，

其中，工件台运动控制卡和工件台下层I/O控制板通过串行数据链接相连；掩膜台

运动控制卡分别与掩膜台下层I/O控制板以及调平调焦控制系统通过串行数据链接

相连；对准运动控制卡与对准控制系统通过串行数据链接相连。

6、一种光刻机同步时序控制的串行数据通讯方法，其特征在于包括以下步骤：

a.上位机软件通过用户输入和设置等输出曝光参数到包含同步总线控制器的工件台

掩膜台实时操作系统；

b.工件台掩膜台实时操作系统把曝光参数综合成各种同步控制关系，通过虚拟模式

扩充总线把同步控制关系传送给同步总线控制器；

c.同步总线控制器按照给定的同步控制关系综合成实际的同步数据总线信号，保证

激光计数卡和运动控制卡的伺服间隔同步和状态同步；

d.运动控制卡接收到同步控制器的伺服间隔同步和状态同步信号，产生中断给运动

控制卡的高速数据处理芯片进行实时同步处理和伺服控制处理；

e.下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制系统接收到伺服间隔同步和状态