原创力文档10
趋势与展望
“半导体技术”
2023年第32卷第4期
技术论文“摘要”
工艺技术与材料
P277-TrenchMOSFET的争论与进展
P281-光子射频移相器争论与进展
现代治理
P284-晶圆简单制造系统在线优化调度系统争论
技术专栏(晶圆生长及晶片制备技术)
P288-LECGaAs晶体中残留杂质碳和硼的掌握
P293-VBGaAs单晶生长技术
P297-硅片纳米微粒清洗干净技术P301-高阻真空区熔硅单晶的生长
器件制造与应用
P304-GaAsMESFET微波固态振荡器的设计与实现
P320-多层金属化系统中的蓄水池效应P324-骨架提取在IC晶
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