TFC膜系设计实例教程.docx

TFC膜系设计实例教程

TFC膜系实例设计步骤〔首先以AR膜三层为例介绍〕

1．首选镀膜材料：AL2O3 ZRO2 MGF22．AR膜技术要求：400------700 R〈1

运行TFC软件(如图1)，选择“取消”按钮，如要翻开已设计好的膜系文件，可按“翻开”来调用文件。

图1

在File菜单中选择NewCoating选项〔如图2〕。

图2

进入环境编辑界面〔EditEnvironment〕如图3

图3

在环境编辑界面中，第一项为监控波长〔Referencewavelength〕,默认设制为550〔图3〕。假设设计400-700波段的AR的话，就可以用这个设制。如要设计红外波段的话，那就要改大点。设好后，点击AnalysisParameters….项，进入下一个波段的设制界面〔SetAnalysisParameters〕。〔如图4〕

图4

在SetAnalysisParameters界面中选WavelengthsandAngles设计波段范围，在第一个输入框里输入起始波段400，其次输入框里输入完毕波段700，第三个输入框里的为步长，可以不改，其它的不动〔如图4〕。输入完成后，按“OK”键确认，返回到如图3的界面，再按“OK”键，进入设计界面〔如图5〕

图5

在Modify菜单中选Layers—Front(如图6)，然后进入添加膜层。〔如图7〕

图6

图7

选择OptionsFrontLayers…..,添加层数，如图7，在弹出的输入框的第一个中输入3代表3层，如图8

图8

然后点“OK”，进入，消灭如图9的画面。

图9

现在把Material(材料)项中的，改成你所要的材料AL2O3 ZRO2 MGF2，把Optimize?(优化否)项中的NO，全部改为YES〔如图10〕

图10

选择Modify菜单中的Targets—continuous项来设定优化目标〔如图11〕

图11

选择Options中的AddContinuoustargets….(如图12)，点击进入，假设是创立一个优化目标的话就不用改，假设要创立几个优化目标的话，就在第一个输入框中输入几。如图13

图12

图13

如图14，在Wavelength(begin)(起始波长)处输入400，在Wavelength(end)〔完毕波长〕处输入700

其它不要动。

图14

完成后，选Run菜单的OptimizeDesign选项进展优化，如图15

图15

优化界面如图16

图16

优化完成后，点击Analyze查看优化后的曲线，如图17

图17

好了，这个AR的膜系已设计完成了，要查看每层的物理厚度，可以翻开菜单Modify中选Layers—Front如图18

图18

17．763．4 120.09 90.83 就是我们优化后的厚度了具体优化操作请看,视频实例优化