TFT-LCD行业异物不良改善研究.docx

TFT-LCD行业异物不良改善争论

黎关超;王超;何伟;刘坤;沈水;曾小强

【摘要】在TFT-LCD行业,异物对产品品质的影响约占95%,直接关系到企业效益.因此,如何有效掌握异物影响成为业内各大企业不断探究的课题.本文分析了Cell异物的成因和分类,并通过人员作业改善、设备改善、原辅材改善、处理方法改善、环境改善、修理改善等方面争论了异物改善的方向.争论说明,技术手段升级和现场治理强化结合对异物不良改善有重要作用,使Cell异物不良整体降低0.84%.%IntheTFT-LCDindustry,theimpactonthequalityofparticleisabout95%anddirectlyrelatestotheeffectivenessofenterprises.Therefore,howtoeffectivelycontroltheimpactofparticlehasbecomeanongoingtopicintheindustry.ThispaperanalyzesthecausesandclassificationofCellparticle,andstudiesthedirectionofparticlethroughtheimprovementofoperation,equipment,rawandauxiliarymaterial,handling

method,environment,repairandotheraspects.Theresultsshowthatthecombinationoftechnicalmeansandsitemanagementhaveanimportanteffectontheimprove-mentofparticle,andmakeCellparticlereduce0.

84%.

【期刊名称】《液晶与显示》

【年(卷),期】2023(032)010

【总页数】7页(P787-793)

【关键词】LCD;异物;人员作业;设备;原辅材;处理方法;环境;修理

【作者】黎关超;王超;何伟;刘坤;沈水;曾小强

【作者单位】北京京东方显示技术CELL生产运营部,北京100176;北京京东方显示技术CELL生产运营部,北京100176;北京京东方显示技术CELL生产运营部,北京100176;北京京东方显示技术CELL生产运营部,北京100176;北京京东方显示技术CELL生产运营部,北京100176;北京京东方显示技术CELL生产运营部,北京100176

【正文语种】中文

【中图分类】TN87

近年来，TFT-LCD技术以其低工作电压、低功耗、低辐射、低空间占用率以及轻、薄、美观等优势，已逐步完全取代CRT技术[1]。作为TFT-LCD行业的第一大不

良：异物不良，对产品品质的影响约占95%[2]，直接关系到企业效益。异物不良，是指在生产中存在于空气以及设备当中的微观粒子，在TFT-LCD生产过程中，吸

附于基板外表，影响基板的导光，致使TFT-LCD产生的微观不良，影响产品品质。异物不良的改善和管控是每一个液晶面板厂家面临的重大挑战。本文通过分析异物不良的分类和成因机理，并通过生产实践中人员作业改善、设备改善、原辅材改善、处理方法改善、环境改善、修理改善等方面争论了异物改善的方向，收集了大量的数据，创立了一整套系统的改善异物不良的管控模式。

在Array、CF以及Cell的各工序生产过程中，异物不良依据发生位置和Size的不同表现出不同的不良，大致可以分为以下几类(如表1)[3]：

第一类：异物落在Gate/Data/Common线上或交点处，造成线不良，如Short、Open、Remain类等；

其次类：异物Size较小，落在像素区，影响该区域的液晶偏转从而形成S级亮点

或暗点类不良；

第三类：异物Size较大，落在Panel内部，形成有Gap性的不良，点灯表现为带晕状不良，晕分别呈黄色、白色及黑色，判定为圆形Particle和黑白点；

第四类：异物呈散状或线性分布，判定为线性Particle、ZaraParticle和散状Particle[4]。

异物不良大小通常都在数微米至数百微米之间，在干净间各处均有可能发生。依据其发生来源，可分为以下几类：

人员：现场作业人员由于作业习惯、作业手法等方面存在的差异，在实际的作业中都会存在各种各样的问题