机床中传感器在伺服系统中的应用资料课件.pptVIP

第7章位移感器v7.1机械位移感器v7.2光位移感器v7.3磁位移感器v7.4接近感器v7.5速感器v7.6多普勒感器v7.7液位感器v7.8流量及流速感器

7.1机械位移感器

v7.1机械位移感器v机械位移感器是用来量位移、距离、位置、尺寸、角度、角位移等几何学量的一种感器。v根据感器的信号出形式，可以分模式和数字式两大，如6-1所示。v机械感器根据被物体的运形式可分性位移感器和角位移感器。v机械位移感器是用最多的感器之一，品种繁多。

位器式阻式容式螺旋管感式差器式模式流式光式机械位移霍耳器件式微波式超声波式感器数字式光式磁式7.1机械位移感器的分

v7.1.1位器式位移感器v1.位器的基本概念v7-2是位器的构。v它由阻体、刷、、滑臂、片等成，阻体的两端和片A、C相，因此AC端的阻就是阻体的阻。v是和滑臂相的，在滑臂的一端装有刷，它靠滑臂的性在阻体上并与之密接触，滑臂的另一端与片B相。

7-2位器的一般构

v7-3是位器路。v位器上的刷将阻体阻R分R和R两部分，出U。0122312v改刷的接触位置，阻R亦随之改12，出U也随之化12。v常用于感器的位器有：v式位器、合成膜位器、v金属膜位器、塑料位器、v玻璃釉位器、光位器。

7-3位器路

v2.位器的主要技参数v(1)最大阻和最小阻，指位器阻能达到的最大和最小；v(2)阻律，指位器阻化的律，例如数式、指数式、直式等；v(3)性位器的性度，指阻直式化的位器的非性差；v(4)滑噪声，指位器阻，滑接触点打火生的噪声的大小。

v容式位移感器v容式位移感器的形式很多，常使用极距式容感器和面式容感器行位移的量。v1.极距式容感器v7-4是空气介极距式容感器工作原理。v一个极板固定不，称固定极板，极板的面Ａ，另一极板可左右移，引起极板距离d相化。

7-4极距式容感器工作原理

极距式容感器的初始容C可由下式表示：0C=εA/d000只要出容化量⊿C，便可算得到极板距的化量，即极板的位移量⊿d。除用极距式容感器位移外，可以用面式容感器角位移。

螺管式感位移感器螺管式感位移感器主要由螺管圈和芯成，芯插入圈中并可来回移。当芯生位移，将引起圈感的化。圈的感量与芯插入圈的度有如下的关系：芯随被物体一起移，致圈感量生化。其位移量可从数毫米到数百毫米。缺点是灵敏度低。

v差器v如7-6所示。初圈L加交流励磁1U，次圈上由于磁感而生感。inv由于两个次圈相反极性串接，所以两个次圈中的感U和U的相OUT1OUT2位相反，当芯于中心称位置，U=U，所以U=0。OUT1OUT2OUTv当芯向两端位移，U大于或小于OUT1U，使U不等于零，其与芯的位移OUT2成正比。OUT

7-6差器构原理

7.2光位移感器

v7.2光位移感器v莫条v由大量等等距的平行狭成的光学器件称光，如7-7所示。v用玻璃制成的光称透射光，它是在透明玻璃上刻出大量等等距的平行刻痕，每条刻痕是不透光的，而两刻痕之是透光的。v光的刻痕密度一般每厘米10、25、50、100。刻痕之的距离距W。

7-7光构放大

v如果把两距W相等的光面平行安装，且它的刻痕之有小的角θ，光上会出若干条明暗相的条，种条称莫条。如7-8所示。v莫条是光非重合部分光透而形成的亮，它由一系列四棱形案成，如7-8中d－d区所示。v7-8中f－f区是由于光的遮光效形成的。

7-8莫条

v莫条有两个重要的特性：v(1)当指示光不，主光左右平移，莫条将沿着指示的方向上下移。v看莫条的上下移方向，即可确定主光左右移方向。v(2)莫条有位移的放大作用。当主光沿与刻垂直方向移一个距W，莫条移一个条距B。v当两个等距光的角θ小，主光移一个距W，莫条移KW距离，K莫条的放大系数：

条距与距的关系：当θ角小，例如θ=30′，K=115，表明莫条的放大倍数相当大。，可把肉眼看不的光位移成清晰可的莫条移，可以用量条的移来光的位移。可以高灵敏的位移量。

v光位移感器的构及工作原理v如7-9所示，由主光、指示光、光源和光器件等成。v主光和被物体相，它随被物体的直位移而生移。当主光生位移，莫条便随着生位移。v用光器件莫条通某点的数目，便可知主光移的距离，也就得了被物体的位移量。

7-9光位移感器的构原理

v7.2.3光位移感器的用v光位移感器：v量精度高（分辨率0.1μm），v量范广（0～1000mm），v可行无接触量，v容易的自化和数字化。v在机械工中得到了广泛的用，特是在量具、数控机床的反控制、工作母机的坐量等方面。

7.3磁位移感器

v7.3磁位移感器v磁是一种有磁化信息的尺。v它是在