使用稀有气体添加剂通过变压吸附制造臭氧.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101817508A

(43)申请公布日2010.09.01

(21)申请号CN201010108572.3

(22)申请日2010.01.22

(71)申请人气体产品与化学公司

地址美国宾夕法尼亚州

(72)发明人A·O·韦斯特S·P·冈戈利E·L·小韦斯特

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司

代理人徐厚才

(51)Int.CI

C01B13/11

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

使用稀有气体添加剂通过变压吸附

制造臭氧

(57)摘要

本发明涉及使用稀有气体添加剂通

过变压吸附制造臭氧。将氦气作为添加剂

加入任何被引导到臭氧发生器(如介电放电

(冷等离子体)臭氧发生器)的氧气流中，其

中所述发生器的流出物被引导到吸附过程

以从所述氧气分离臭氧。还公开了一种改

进的PSA循环，其被设计成减少维持臭氧

生成和回收过程所需的补充氦气和氧气的

量。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2022-01-04未缴年费专利权终止未缴年费专利权终止

2012-11-14授权授权

2010-10-20实质审查的生效实质审查的生效

2010-09-01公开公开

权利要求说明书

1.方法，包括：

(a)将来自进料气体管线的进料气体混合物输送通过介电等离子体臭氧发生器，所

述进料气体管线与氧气源和氦气源相连接，所述氧气源包括至少90％的氧气，所

述进料气体混合物包括至少1％的氦气；和

(b)从所述介电等离子体臭氧发生器生成包括臭氧的发生器流出物。

2.权利要求1的方法，进一步包括：

(c)将所述发生器流出物输送通过第一吸附剂容器，该第一吸附剂容器包含对臭氧

比对氧气或氦气具有更大吸附力的吸附剂；和

(d)将吹扫气体输送通过所述第一吸附剂容器并从该吸附剂容器中取出含有所述吹

扫气体和臭氧的产物气体。

3.权利要求2的方法，其中步骤(c)进一步包括将离开第一吸附剂容器的气体引导到

回收管线，所述回收管线与所述进料气体管线流体连通。

4.权利要求3的方法，进一步包括：

(e)将所述吹扫气体和/或来自另一正在执行步骤(d)的吸附剂容器的产物气体的一部

分输送通过所述第一吸附剂容器，并将离开所述第一吸附剂容器的气体引导到所述

回收管线。

5.权利要求4的方法，进一步包括：

在步骤(c)之后和步骤(d)之前执行步骤(e)。

6.权利要求3的方法，进一步包括：

(f)将冲洗气体输送通过所述第一吸附剂容器，并将离开所述第一吸附剂容器的气体

引导通过不同于所述回收管线的管线，所述冲洗气体由来自所述氧气源的气体构成。

7.权利要求6的方法，进一步包括：

在步骤(d)之后执行步骤(f)。

8.权利要求7的方法，进一步包括以权利要求5和7中指定的顺序执行由重复步骤

(c)-(f)构成的吸附剂循环。

9.权利要求1的方法，其中步骤(a)包括：

将来自进料气体管线的进料气体混合物输送通过介电等离子体臭氧发生器，所述进

料气体管线与氧气源和氦气源相连接，所述氧气源包括至少90％的氧气，所述进

料气体混合物包括至少1％的氦气。

10.权利要求1的方法，其中步骤(a)包括：

将来自进料气体管线的进料气体混合物输送通过介电等离子体臭氧发生器，所述进

料气体管线与氧气源和氦气源相连接，所述氧气源包括至少90％的氧气，所述进

料气体混合物包括2％-5％的氦气