导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101801839A

(43)申请公布日2010.08.11

(21)申请号CN200880102146.X

(22)申请日2008.04.03

(71)申请人SNU研发业务基金会

地址韩国首尔

(72)发明人金龙协李廷勋姜泰俊张议允

(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司

代理人谢顺星

(51)Int.CI

B82B1/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

导电纳米膜及使用该导电纳米膜的

微机电系统传感器

(57)摘要

本发明涉及导电纳米膜以及使用该

导电纳米膜的微机电系统传感器，更具体

地，涉及通过堆叠聚合物电解质膜和碳纳

米管层形成的导电纳米膜，以及使用该导

电纳米膜的MEMS传感器。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种导电纳米膜，其包括：

下部聚合物电解质膜；和

形成于所述聚合物电解质膜上的碳纳米管层，碳纳米管的网络形成于所述碳纳米管

层中。

2.如权利要求1所述的导电纳米膜，还包括形成于所述碳纳米管层上的上部聚合物

电解质膜。

3.如权利要求2所述的导电纳米膜，其中，所述下部和上部聚合物电解质膜分别由

选自PAH、PSS、PVP、PAA、PPy、PANI、PTs和PEDOT的组中的任一种树脂

形成。

4.如权利要求2所述的导电纳米膜，其中，所述碳纳米管层的碳纳米管用羧基和羟

基官能化，且通过在水溶液中从所述碳纳米管层中释放的氢离子带负电荷。

5.如权利要求4所述的导电纳米膜，其中，所述下部聚合物电解质膜通过交替地堆

叠PAH和PSS形成，且与所述碳纳米管层接触的最上层由PAH形成。

6.如权利要求4所述的导电纳米膜，其中，所述上部聚合物电解质膜通过交替地堆

叠PAH和PSS形成，且与所述碳纳米管层接触的最底层由PAH形成。

7.如权利要求2所述的导电纳米膜，其中，所述下部和上部聚合物电解质膜通过浸

渍自组装法或自旋辅助自组装法形成。

8.如权利要求1所述的导电纳米膜，还包括由选自铜、金、银和铂的组的任一种形

成的上层金属层。

9.一种MEMS(微机电系统)传感器，其包括：

设置有开口的基片；

权利要求1至8的纳米导电膜，形成于所述设置有开口的基片上；

上板，设置于所述导电纳米膜上，通过间隔物与所述导电纳米膜隔开；

设置在所述基片下面的下板；以及

上电极，形成于所述上板下面，与所述导电纳米膜的上表面隔开。

10.如权利要求9所述的MEMS传感器，其中，所述导电纳米膜通过所述间隔物的

开口而暴露。

11.如权利要求9所述的MEMS传感器，其中，根据被感测的对象，将所述微机电

系统传感器形成为压力传感器、湿度传感器、温度传感器，接触式传感器或者生化

传感器。

说明书

技术领域

本发明涉及导电纳米膜以及使用该导电纳米膜的微机电系统(以下，称为“MEMS”)

传感器，更具体地，涉及通过堆叠聚合物电解质膜和碳纳米管层形成的导电纳米膜，

以及使用该导电纳米膜的MEMS传感器。

背景技术

近来，通过技术合作以及与各种科学领域的融合，生物技术已经带来了新的研究和

工业领域的发展。尤其，BIT(生物信息技术)已经通过使用已被半导体技术领域研

究的技术得到了发展，且BINT(生物信息纳米技术)已经通过与微/纳米技术融合发

展成为新的技术领域。该融合生物技术已经被积极地研究，因为它可以大大有助于

分析疾病诊断领域的生物材料的功能和相互作用、目前在生物技术领域中重点研究

的新药开发以及信令系统分析。特别是，生物传感器已经作为生物诊断技术被积极

地研究。

生物传感器是半导体芯片类型的混合设