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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN101221245A
(43)申请公布日2008.07.16
(21)申请号CN200710144776.0
(22)申请日2007.12.07
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
(72)发明人宁中喜于达仁李鸿刘辉丁永杰
(74)专利代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所
代理人张果瑞
(51)Int.CI
G01T1/29
H01J37/244
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
定向等离子体束离子平均速度的相
关测量方法
(57)摘要
定向等离子体束离子平均速度的相
关测量方法,它涉及一种测量具有密度波
动特性的定向等离子体束离子平均速度的
方法,以解决现有测量方法存在的误差较
大、测量过程较繁琐、不能获得微秒量级
的离子平均速度变化特性的问题。本发明
的方法由以下步骤组成:步骤一、启动稳
态等离子体发动机并调节到稳定放电的状
态;步骤二、调整正偏压电源使两个探针
上加载的电压都分别处于电子电流饱和
区;步骤三、启动示波器,调节并使示波
器上能够显示出清晰的低频振荡信号;步
骤四、记录稳态等离子体发动机在稳定工
作状态下两个探针在同一时间段上的数据
信号;步骤五、查找两个探针信号相关性
最强时的时间差;步骤六、根据公式Vi=
L/Δτ计算定向等离子体束的离子平均速
度。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.定向等离子体束离子平均速度的相关测量方法,完成本方法采用以下结构的装置,
该装置由稳态等离子体发动机(1)、正偏压电源(2)、示波器(3)、第一探针(4-1)、第
二探针(4-2)、第一电阻(5-1)、第二电阻(5-2)和供电电源(6)组成,第一探针(4-1)和
第二探针(4-2)分别设置在稳态等离子体发动机(1)的羽流区内,第一探针(4-1)和第
二探针(4-2)的上端面的左右中心点都位于稳态等离子体发动机(1)的上下中心轴线
上,第一探针(4-1)的输出端和第一电阻(5-1)的第一端都与示波器(3)的第一输入端
相连接,第二探针(4-2)的输出端和第二电阻(5-2)的第一端都与示波器(3)的第二输
入端相连接,第一电阻(5-1)的第二端、第二电阻(5-2)的第二端和示波器(3)的电源
输入端都与正偏压电源(2)的正极端相连接,供电电源(6)的正极端与稳态等离子体
发动机(1)的正极端相连接,供电电源(6)和正偏压电源(2)的负极端都与稳态等离子
体发动机(1)的阴极补偿器(1-1)相连接;
其特征在于本发明的方法由以下步骤实现:
步骤一、启动稳态等离子体发动机(1)并调节到稳定放电的工作状态;
步骤二、调整正偏压电源使第一探针(4-1)和第二探针(4-2)上加载的电压都分别处于
电子电流饱和区;
步骤三、启动示波器(3)并调节显示比例和扫描时间,使示波器(3)上能够显示出清
晰的低频振荡信号;
步骤四、记录并保存稳态等离子体发动机(1)在稳定工作状态下第一探针(4-1)和第
二探针(4-2)在同一时间段上的数据信号;
步骤五、根据步骤四中保存的数据采用相关法计算第一探针(4-1)和第二探针(4-2)所
采信号相关性最强时的时间差Δτ;
步骤六、根据公式Vi=L/Δτ计算出定向等离子体束的离子平均速度,其中Vi表示
定向等离子体束的离子平均速度,L表示第一探针(4-1)和第二探针(4-2)的上端面的
左右中心点之间的距离,Δτ表示两个信号相关性最强时信号之间的时间差。
2.根据权利要求1所述的定向等离子体束离子平均速度的相关测量方法,其特征在
于它由以下步骤实现:
步骤一、启动稳态等离子体发动机(1)并调节到放电电压Up为300V、阳极供气流
量为3mg/s的稳定放电
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