rena机常见的报警以及处理方法作业指导书.docx

GM-012B

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RENA机常见的报警信息以及处校订版别：

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修订说明

2023-07-08 A 版制定

修订部门 编 制 审 核 批 准设备部

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1.目的

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把握RENA机常见的报警信息以及处理的方法

2..范围RENA设备

定义无

职责

全部操作人员都必需严格依据本文件进展操作；

操作过程由设备人员完成；

作业内容

上料槽常见报警内容以及处理方法；

通道1--8输入晶片堵塞〔InputWaferjamTrace1—8〕

发生此报警后，先将上料机停掉，检查RENA机此通道有无硅片堵塞或叠片现象，假设无可消退报警；假设有马上通知设备人员处理，处理完成后消退报警，翻开上料机；

2〕此通道无硅片堵塞或叠片，但是报警无法消退，应通知设备人员，检查上料槽此通道相对应的对射感应器；

制绒槽/刻蚀槽常见报警内容以及处理方法；

氢氟酸_硝酸槽泵缸严峻错误(ReplenishStopped(Pumptankfull))1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；2〕此报警是由于泵缸内的药液液位已经到达第四个液位感应器了所致，与工艺人

员确认适当排掉些药液即可消退报警；假设液位没有到达第四个液位感应器而报此警，需检查第四个液位感应器的灵敏度以及确认此感应器是否损坏。

氢氟酸_硝酸槽泵缸超出最高温度(Maximumtemperatureexceeded)1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；2〕此报警是由于泵缸内的温度高于工艺配方内设定的温度，此报警一般发生在工

艺更换药液的时候，冰水机还在连续降温，降到设定的温度报警即可消退，假设报警发生在正常生产过程中，设备人员需要检查泵缸的温度传感器是否损坏。

氢氟酸_硝酸槽传感器组合错误(Sensorcombination)1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；2〕此报警是由于泵缸内的真实液位与液位传感器感应到的液位不全都，调整液位

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传感器的灵敏度与真实液位全都，即可消退报警。

氢氟酸_硝酸槽循环的掌握低于最小流量(Fellbelowminimumflow)1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；2〕此报警是由于槽内循环的流量低于工艺配方内设定的流量，此报警一般发生在

工艺将药液从储液罐打上槽内，等待循环的流量到达工艺配方设定的流量报警即可消退，假设报警发生在正常生产过程中，设备人员需要检查制绒槽是否有漏液，少液的现象导致流量小，假设没有漏液少液，则需检查流量计是否损坏。

冷却系统测量传导率到达了最大的电导值(Maximumconductancereched)1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；2〕此报警是由于电导率的电导值超过了配方内设定的最大值3000，将冰水机里的

水重换掉，再添加16L乙二醇，假设电导值降下来则报警消退，假设电导值无变化，则需检查测量电导率的感应器是否损坏。

氢氟酸供给1剂量瓶填充时间已过(Timeoutfilling)1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；

2〕此报警是由于氢氟酸供给的剂量瓶在设定时间内没有到达指定的液位〔刚好到达其次个液位传感器〕，查看剂量瓶的液位管，假设液位低于其次个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的氢氟酸消耗完了需更换。

硝酸供给剂量瓶填充时间已过(Timeoutfilling)1〕发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；

2〕此报警是由于硝酸供给的剂量瓶在设定时间内没有到达指定的液位〔刚好到达其次个液位传感器〕，查看剂量瓶的液位管，假设液位低于其次个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的硝酸消耗完了需更换。

氢氟酸_硝酸槽容量计数器硝酸最小流量尚未到达(Fellbelowminimumflow)

发生此报警后，第一时间通知设备人员进展处理；

此报警通常发生在工艺换液时，添加硝酸的过程中，硝酸的流量低于设定的流量，造成此报警的缘由有：1，有多台设备同时在添加硝酸，导