【英语版】国际标准 ISO/TS 21383:2021 EN Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements 微束分析 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜定量测量的鉴定.pdf

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ISO/TS21383:2021标准的全称是Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—Qualificationofthescanningelectronmicroscopeforquantitativemeasurements（扫描电子显微镜定量测量性能验证），该标准是由国际标准化组织发布的技术规范。它涉及到扫描电子显微镜（SEM）的性能验证，以便进行定量测量。

扫描电子显微镜是一种使用电子束扫描样品，通过信号收集和分析来生成高分辨率图像的仪器。在SEM中，电子束撞击样品并产生各种信号，包括背散射信号（BSC）、能量损失信号（ELS）等，这些信号可用于研究样品的微观结构和化学成分。

该标准主要关注SEM的定量测量性能，包括但不限于确定SEM设备的空间分辨率、电子束控制、电子信号收集和处理系统、数据分析和报告等方面的性能。通过这些性能的验证，可以确保SEM设备能够准确、可靠地测量样品的三维结构和化学成分，为科学研究、材料科学、生物学、医学等领域的研究提供准确的数据。

在标准中，规定了SEM设备的性能指标和验证方法，包括设备的技术参数、实验方法、数据处理和分析等。标准还强调了实验室和人员的资格和经验要求，以确保验证过程的准确性和可靠性。

ISO/TS21383:2021标准对于扫描电子显微镜设备的性能验证具有重要指导意义，有助于确保SEM设备在科学研究和其他领域的应用中提供准确可靠的数据。