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SEM操作使用手册.docx

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    ZeissSupra55(VP)扫描电子显微镜

    简明操作指南

    一、开机说明冷启动步骤

    1启动UPS

    翻开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关翻开，按前面而板上On键至两个绿灯亮。

    2、启动循环水冷机.

    按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。

    检査出水口压力在2 3bar?出水口压力可由乐力表下方阀门调整.假设有报警，检査水位，按Res键。

    3、启动空气压缩机。

    确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检査输出气压为5 6bar。4、确认主机后两个电源开关状态为On?

    此时，主机前面板上红灯亮。

    5、按下黄键。

    说明：前级貞空泵进入工作状态，分子泵、潘宁

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