Nikon光刻机stepper维修手册..docx

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第一章修理操作前的各项预备工作

修理操作的先决条件

使用工具

其次章照明系统修理程序

超高压汞灯电源特别

照明均匀性特别和曝光功率降低第三章硅片传输系统的修理程序

硅片传输系统的真空特别

OF检测失灵

预对准工作特别

上下片臂定位不良

〔以上全部修理程序请参考微高公司供给的修理手册〕第一章修理操作前的各项预备工作

修理操作的先决条件能进展操作和精读检验

能够使用示波器照度计等测量仪器留意大事：抽出电路板时，请先关断电源

拿起电路板时请勿用手指接触链接点

翻开或关断掌握单元电源时，先将掌握计算机正确关闭对光学系统进展清洁处理时，请务必戴上干净手套

使用工具

使用工具一览表

工具

该用户很懒，什么也没介绍

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