MEVVA源离子注入机控制系统的实现.docx

MEVVA源离子注入机掌握系统的实现

张敬敏;刘伟;魏鑫;江海;李弥

【摘要】通过分析MEVVA离子源的电气特性,提出离子注入机掌握系统的特别要求,在此根底上设计实现了基于PLC的掌握系统.介绍了掌握系统组成,重点介绍了自动调束的方法和流程.

【期刊名称】《制造业自动化》

【年(卷),期】2023(039)009

【总页数】3页(P142-144)

【关键词】MEVVA离子源;离子注入;自动掌握;束流自动调整

【作者】张敬敏;刘伟;魏鑫;江海;李弥

【作者单位】北京机械工业自动化争论所,北京100120;北京机械工业自动化争论所,北京100120;北京机械工业自动化争论所