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镁合金晶粒尺寸及织构的测定电子背散射衍射(EBSD)法
1范围
本文件规定了采用电子背散射衍射(EBSD)测量镁合金晶粒尺寸及织构的方法,包括范围、规范
性引用文件、方法原理、仪器设备、样品制备、测量条件、试验步骤、晶粒尺寸的测定、织构测定、试
验报告和附录性资料。
本文件适用于镁合金中晶粒尺寸和织构的电子背散射衍射法(EBSD)分析。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T6394-2017金属平均晶粒度测定方法
GB/T13298金相显微组织检验方法
GB/T19501-2013微束分析电子背散射衍射分析方法通则
GB/T27788微束分析扫描电镜图像放大倍数校准导则
GB/T30067金相学术语
GB/T30703微束分析电子背散射衍射取向分析方法导则
YB/T4377金属试样的电解抛光方法
3术语和定义
GB/T30067和GB/T19501-2013界定的下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电子背散射衍射electronbackscatterdiffraction(EBSD)
通过扫描电子显微镜中电子束在倾斜(约70°)样品表面激发出的菊池衍射花样确定晶体结构、取
向及相关信息的方法。
[来源:GB/T19501-2013,3.1]
3.2
电子背散射花样electronbackscatterpattern(EBSP)
由电子背散射衍射产生的具有准线性特征的、并被探测器获取的图案,即菊池带(见图1),可将其
显示在荧光屏或照相胶片上。
[来源:GB/T19501-2013,3.2]
1
图1
3.3
取向orientation
晶体坐标系和样品坐标系的相互关系。
3.4
织构texture
多晶体中晶体取向的择优分布。
3.5
极图polofigure
表示材料中各晶粒的某一选定晶面﹛hkl﹜在外形坐标系下的取向分布图。
3.6
反极图inversefigure
表示材料中各晶粒平行某特征外观方向的晶向在晶体学空间中分布的三维极射赤道平面投影图。
3.7
取向分布函数orientationdistributionfunction(ODF)
表示晶体(或样品)要素三维空间分布的一种优选方位表示形式。
3.8
EBSD晶粒EBSDgrain
具有相似取向的、由晶界所包围的区域,如相邻测量点之间的取向差大于设定临界值则认为为不同
区域。
[来源:GB/T19501-2013,3.16]
4方法原理
利用扫描电子显微镜或电子探针仪器上配备的电子背散射衍射装置对镁合金试样表面微区显微组
织逐点进行晶体学分析,获得镁合金材料有关晶体取向空间分布的信息,根据EBSP所包含的晶体学参
数特征信息作为未知相的识别。
2
5仪器设备
5.1扫描电子显微镜或电子探针,安装有电子背散射衍射(EBSD)系统,其中电子背散射衍射系统
由硬件和软件组成。扫描电镜按照GB/T27788进行校准确认。
5.1.1EBSD系统硬件包括探头和控制部分,探头部分由外表面的磷屏幕及屏幕后的相机组成,探头
将采集到的EBSD花样传送到计算机软件进行标定。EBSD系统控制部分控制电子束进行逐点扫描或控
制样品台移动。
5.1.2EBSD系统软件是指计算机系统中的EBSD软件包,包括EBSD花样的采集标定软件,EBSD
数据处理软件。
5.2制样设备
5.2.1磨样机和抛光机。
5.2.2离子抛光机或电解抛光仪。
6试样制备
6.1试样表面应清洁平整,无形变、无污染、无氧化层和无连续的腐蚀坑或者反应产物。
6.2试样制备过程中需记录待测面与材料的轧向、横向或法向的位置关系,试样大小一般为5mm×
5mm×5mm,具体制样方法见附录A。
7测量条件
7.1加速电压选择
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