薄膜物理与技术：CH4-2-1 薄膜的导电特性.pptx

CH4-2薄膜的电学性质Electricalproperties

ofthinfilms

主要内容

4.2.1薄膜的导电特性

4.2.2薄膜的介电性

4.2.3铁电、压电和热释电性能

薄膜的电学性质涉及以下：材料的导电特性、介电特性、以

及铁电压电和热释电特性，导电氧化物及半导体薄膜的电导，金属材料的电导性能。

本节主要内容

4.2.1.1电学的基本知识

4.2.1.2金属薄膜的电学特性

4.2.1.3介质薄膜的电导

e-e-e-■电流是电荷在空间的定向运动。

任何一种物质，只要存在带电

电子导电荷的自由粒子——载流子，就

十可以在电场下产生导电电流。

金属中：自由电子

xMxMxMxMxMx.■无机材料中：

■电子(负电子/空穴)—电子电导

离子(离子/空位)—离子电导

离子导电

●导电是指材料中的电子或离子在电场作用下的定向移动，通常以一种类型的电荷载体为主。

电子导体，以电子载流子为主体的导电；离子导电，以离子载流子为主体的导电；混合型导体，其载流子电子和离子兼而有之。

除此以外，有些电现象并不是由于载流子迁移所引起的，而是电场

作用下诱发固体极化所引起的，例如介电现象和介电材料等。

■

-·M

4.2.1.1电学的基本特性

三三二一一一三二二二三二二二

三三二三二三一1

三三三二二三—

十

V=LE

对一截均匀导电体，存在如下关系：

■欧姆定律

口导体(纯金属10-8-10-7Ωm,合金10-7-10-5Ωm)

口半导体(10-3-109Ω·m)

口绝缘体(109Q·m)

4.2.1.1电学的基本特性

1.电阻和电阻率

σ=l/p

5507

200+

150.

100·

50

0

SilverCopperGoldAluminiumWolframlronPlatinumLead

4.2.1.1电学的基本特性

Resistivity(x10g][ohmm]

Conductors

Ca

3.9×10-6

Si

~0.1

Ti

42×10-6

Ge

~0.05

Mn

185×10-6

ReO₃

36×10-6

Zn

5.9×10-6

Fe₃O₄

52×10-6

Cu

1.7×10-6

TiOz

9×104

Ag

1.6×10-6

ZrO₂

1×10⁹

Pb

21×10-6

Al₂O₃

1×1019

ResistivitiesofRealMaterials

CompoundResistivity(2-cm)CompoundResistivity(2-cm)

4.2.1.1电学的基本特性

px10,/(0.em)

元素族号

H

1.00797

ⅡAⅢAIVAVAVTAVIA

2

He

4.003

3

Li6.939

4

Be

9.012

ⅢBIVBVB

B

VIBVIB

IBⅡB

5

B

10.81

6

C

12.011

7

N

14.007

8

)

15.9994

9

F

19.00

10

Ne

20.183

11

Na

22.99

12

Mg

24.31

13

Al26.98

14

Si

28.09

15

P

39.974

16

S

32.064

17

Cl35.453

18

Ar

39.948

19

K

39.102

20

Ca

40.08

21

Sc

44.96

22

Ti47.90

23

V

50.94

24

Cr

52.00

25

Mn

54.94

26

Fe

55.85

27

Co

58.93

28

Ni

58.71

29

Cu

63.54

30

Zn

65.37

31

Ga69.72

32

Ge

72.59

33

As

74.92

34

Se

78.96

35

Br

79.909

36

Kr

83.80

37

Rb85.47

38

Sr

87.62

39

Y

88.905

40

Zr

91.22

41

Nb

92.91

42

Mo

95.94

43

Tc

98

44

Ru

101