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TITLE：TSKPROBER基本操作說明

REVRyon

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TOC\o1-31.前言: 2

2.電源開關與緊急停止開關: 3

2-1開關位置 3

2-2使用時機: 3

3.啟動PROBER: 5

3-1啟動 5

3-2完成開機動作 6

4.更換PROBECARD: 7

4-1APC裝置 7

4-2一般的PROBER 11

5.生產前設定: 14

5-1放入Wafer 14

5-2完成Wafer放置 15

6.設定產品: 16

6-1設定DEVICE 16

7.DEVICE屬性設定: 18

7-1設定測試溫度 18

8.LOT屬性設定: 20

8-1設定LOT屬性 20

8-2逐一載入(SEQUENCELOAD) 21

8-3設定起始載入位置(ASSIGNLOAD) 22

8-3依設定載入(SAMPLELOAD) 23

9.設定測試控制參數: 24

9-1設定是否在測試前暫停 24

9-2設定是否讀取WaferID. 25

10.確認針點位置(NEEDLEALIGNMENT): 26

11.針痕位置的校正: 27

11-1選定試打針痕的位置 27

11-2調整針壓與針痕位置 29

11-3開始進行測試 32

11-4備註: 32

12工程測試中，改變測試設定 33

12-1更改針壓(OVERDRIVE)設定 33

12-2重測 34

12-3操作TESTHEAD 35

TSKPROBER基本操作說明

1.前言:

TSKPROBER具有親和的使用者操作界面，以及穩定可靠的生產效能。

為了使TSKPROBER達到最佳的生產狀態，正確的操作程序是不可或缺的。

因此在生產過程中請遵照基本操作說明的指示，依正確的操作程序生產。

避免因為錯誤的人為操作，造成損失。

2.電源開關與緊急停止開關:

2-1開關位置

TSKPROBER的電源主開關位於機台的後方，相關開關的位置如下圖

EMERGENCY

EMERGENCY

緊急停止開關

POWERON

POWERON

電源開啟

POWEROFF電源關閉

POWEROFF

電源關閉

RESET重新開機

RESET

重新開機

2-2使用時機:

(1)EMERGENCY緊急停止開關:

當PROBER於生產時，遇有任何緊急狀況發生，按下此按鈕，將會終止供應所

有的電源，使PROBER的一切動作立即停止。

在緊急狀況解除之後，首先將緊急開關旋鬆，使其跳離切斷電源的位置，然

後由機台後方的主電源開關關閉電源，等5至10秒後，再重新打開主電源開

關，即可恢復正常電源供給。

(2)POWERON電源開啟:

當欲啟動PROBER時，按下此開關，即可啟動PROBER。

(3)POWEROFF電源關閉:

當欲關閉PROBER時，按下此開關，即可切斷PROBER電源供給。

在關閉電源之前，請務必確認PROBER內部已無任何WAFER，以免使產品受損。

(4)RESET重新開機:

當PROBER發生一般操作無法排除的問題，可以重新開機嘗試將其排除。

此時若PROBER內部有WAFER，在重新啟動後，按下START，位於LODER部

位的WAFER將會被送回INSPECTIONTRAY，取出WAFER之後，再按下START，

此時位於CHUCK的WAFER會先移至ACCESSDOOR，如果要由此處取出，可打

開FRONTDOOR取出WAFER，否則請再按START，WAFER將再被送回

INSPECTIONTRAY，再由此處取出。

INSPECTIONTRAYFRONTDOOR

INSPECTIONTRAY

FRONTDOOR

3.啟動PROBER:

3-1啟動

當PROBER在讀取完所有設定資料與程式之後，會出現如下圖所示畫面，按下

START按鈕，即可啟動PROBER進行INITIATION。

START

START

3-2完成開機動作

完成INITIATION之後，完成開機畫面如下:

4.更換PROBECARD:

4-1APC裝置

具有APC(自動更換PROBECARD裝置)的PROBER

按下開機螢幕中的CARDCHANGE按鈕

CARD

CARD

CHANGE

(2)按下CARDCHANGESTART按鈕

CARD