- 1、本文档共35页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
CORP.蔚華科技股份有限公司
PAGE
DOCNO.
TITLE:TSKPROBER基本操作說明
REVRyon
PAGEPAGE23OF35
TOC\o1-31.前言: 2
2.電源開關與緊急停止開關: 3
2-1開關位置 3
2-2使用時機: 3
3.啟動PROBER: 5
3-1啟動 5
3-2完成開機動作 6
4.更換PROBECARD: 7
4-1APC裝置 7
4-2一般的PROBER 11
5.生產前設定: 14
5-1放入Wafer 14
5-2完成Wafer放置 15
6.設定產品: 16
6-1設定DEVICE 16
7.DEVICE屬性設定: 18
7-1設定測試溫度 18
8.LOT屬性設定: 20
8-1設定LOT屬性 20
8-2逐一載入(SEQUENCELOAD) 21
8-3設定起始載入位置(ASSIGNLOAD) 22
8-3依設定載入(SAMPLELOAD) 23
9.設定測試控制參數: 24
9-1設定是否在測試前暫停 24
9-2設定是否讀取WaferID. 25
10.確認針點位置(NEEDLEALIGNMENT): 26
11.針痕位置的校正: 27
11-1選定試打針痕的位置 27
11-2調整針壓與針痕位置 29
11-3開始進行測試 32
11-4備註: 32
12工程測試中,改變測試設定 33
12-1更改針壓(OVERDRIVE)設定 33
12-2重測 34
12-3操作TESTHEAD 35
TSKPROBER基本操作說明
1.前言:
TSKPROBER具有親和的使用者操作界面,以及穩定可靠的生產效能。
為了使TSKPROBER達到最佳的生產狀態,正確的操作程序是不可或缺的。
因此在生產過程中請遵照基本操作說明的指示,依正確的操作程序生產。
避免因為錯誤的人為操作,造成損失。
2.電源開關與緊急停止開關:
2-1開關位置
TSKPROBER的電源主開關位於機台的後方,相關開關的位置如下圖
EMERGENCY
EMERGENCY
緊急停止開關
POWERON
POWERON
電源開啟
POWEROFF電源關閉
POWEROFF
電源關閉
RESET重新開機
RESET
重新開機
2-2使用時機:
(1)EMERGENCY緊急停止開關:
當PROBER於生產時,遇有任何緊急狀況發生,按下此按鈕,將會終止供應所
有的電源,使PROBER的一切動作立即停止。
在緊急狀況解除之後,首先將緊急開關旋鬆,使其跳離切斷電源的位置,然
後由機台後方的主電源開關關閉電源,等5至10秒後,再重新打開主電源開
關,即可恢復正常電源供給。
(2)POWERON電源開啟:
當欲啟動PROBER時,按下此開關,即可啟動PROBER。
(3)POWEROFF電源關閉:
當欲關閉PROBER時,按下此開關,即可切斷PROBER電源供給。
在關閉電源之前,請務必確認PROBER內部已無任何WAFER,以免使產品受損。
(4)RESET重新開機:
當PROBER發生一般操作無法排除的問題,可以重新開機嘗試將其排除。
此時若PROBER內部有WAFER,在重新啟動後,按下START,位於LODER部
位的WAFER將會被送回INSPECTIONTRAY,取出WAFER之後,再按下START,
此時位於CHUCK的WAFER會先移至ACCESSDOOR,如果要由此處取出,可打
開FRONTDOOR取出WAFER,否則請再按START,WAFER將再被送回
INSPECTIONTRAY,再由此處取出。
INSPECTIONTRAYFRONTDOOR
INSPECTIONTRAY
FRONTDOOR
3.啟動PROBER:
3-1啟動
當PROBER在讀取完所有設定資料與程式之後,會出現如下圖所示畫面,按下
START按鈕,即可啟動PROBER進行INITIATION。
START
START
3-2完成開機動作
完成INITIATION之後,完成開機畫面如下:
4.更換PROBECARD:
4-1APC裝置
具有APC(自動更換PROBECARD裝置)的PROBER
按下開機螢幕中的CARDCHANGE按鈕
CARD
CARD
CHANGE
(2)按下CARDCHANGESTART按鈕
CARD
文档评论(0)