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晶圆切制站学习手册
A、DFD651机台了解
指示灯,显示器
直行操作架
旋转操作
co2滤净机
切割轴
台
直行操作架
切割轴、切
旋
转操作架
操作键盘
切割工作盘
清洗工作盘
DFD651晶圓切割機的兩根切割軸以及切割刀
切割Z2軸
切割Z1軸
⌒机器右侧面
(机器左侧面
A
A
总水阀
总气阀
机
千关
电源控制开
纯
器,出B:器W/数
CUTTINGBLADE冷却刀具用水
WATERSHOWER喷在刀刃上,清洗刀刃
WASHINGSPRAY清洗晶圆用水
WATERSPRAY清洗晶元用水
B、键盘讲解:
+SETUP:测高快捷键
DEVICEDATA:调出参数快捷键
AUX:不用
NEWCST:按下后使料盒从第一个第一格开始取料
S/TVAC:清洗盘真空压力开关
+8YsNT:系统初始化
4CUTWATER:切割水开关
SPNDL:转轴开/关
C/TVAC:切割盘真空压力开关
4ZEM2转轴紧急抬起按钮
+NDEx:索引
SCRINDEX:ScR索引
SHFT:键盘切换
C、日常操作:
开机;系统初始化(快捷键sYs|NT)
确认刀片型号及使用寿命未到极限(F5.6
测高(F5.3.1or快捷键SETUP→F3)
刀片基准线校准(F55)
确认生产型号(F4)
贴片(使用晶圆贴片机)
单品种全自动切割(F1→快捷键NEWCST.→START)
首件检查(使用工具显微镜)
目检(使用普通显微镜)1
机器维护:换刀(在F51菜单下更换)
机器异常情况处理
晶圆贴片步骤
1、准备工作
打开离子风扇
有效距离60cm
准
备擦净的铁圈若干
贴片
2、用气枪吹净机器表面
3、用沾酒精的无尘布擦拭机器表面及滚筒
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