【英/法语版】国际标准 IEC 62047-17:2015 EN-FR 半导体器件 - 微机电器件 - 第17部分：薄膜机械性能测量凸试验方法 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films.pdf

IEC62047-17:2015EN-FR是关于半导体设备中微机电系统设备的部分，其标准名称为“Micro-electromechanicaldevices”。该标准规定了薄膜机械性能测量的一种方法，即膨胀测试方法。

具体来说，IEC62047-17:2015EN-FR标准描述了一种测试方法，用于测量薄膜的机械性能。这种方法是通过在薄膜上施加一定的压力或负载，观察薄膜的膨胀程度来评估薄膜的机械性能。这种方法特别适用于测量薄膜的拉伸强度、压缩强度、弯曲强度等机械性能指标。

在薄膜材料的研究和生产中，这种方法具有重要的应用价值。通过使用这种方法，可以更好地了解薄膜材料的性能特点，为薄膜材料的优化和改进提供依据。这种方法还可以用于评估薄膜材料的质量和可靠性，为生产过程中的质量控制提供支持。

IEC62047-17:2015EN-FR标准是一种重要的测试方法标准，适用于薄膜材料的机械性能测试，为薄膜材料的研究、生产和质量控制提供了重要的技术支持。