【英/法语版】国际标准 IEC 62047-11:2013 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems 半导体器件-微机电机械装置-第11部分：微机电机械系统自由.pdf

IEC62047-11:2013EN-FR半导体设备-微机电系统设备第11部分：自由基材料线性热膨胀系数的测试方法

IEC62047-11是国际电工委员会（IEC）发布的一个标准，专门针对微机电系统（MEMS）设备中的材料线性热膨胀系数进行测试。这个标准主要关注MEMS元件制造和设计中的一个关键参数。

在MEMS设备中，材料的热膨胀系数是决定设备在温度变化时的尺寸和形状变化的关键因素。如果材料膨胀或收缩过大，可能会对设备的功能产生严重影响，甚至导致设备失效。因此，准确地测量和了解材料的热膨胀系数对于MEMS的设计和制造至关重要。

该标准详细描述了测试自由基材料线性热膨胀系数的方法，包括所需的设备、测试步骤、数据记录和处理等等。这种方法通常包括使用专门的温度控制设备，将材料置于不同温度下，并测量其在不同温度下的尺寸变化。通过这种方式，可以得出材料的热膨胀系数，从而为MEMS的设计和制造提供关键信息。

IEC62047-11:2013EN-FR标准为MEMS设备制造商提供了一种用于测量和了解材料热膨胀系数的重要工具，有助于提高设备的性能和可靠性。