【英语版】国际标准 IEC 62047-30:2017 EN 半导体器件-微机电机械装置-第30部分：压电薄膜MEMS机电转换特性的测量方法 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film.pdf

IEC62047-30:2017EN半导体器件-微机电系统器件-第3部分：压电薄膜MEMS机电转换特性的测量方法

IEC62047系列标准是关于微电子机械系统（MEMS）的全球标准，其中IEC62047-30标准规定了测量MEMS压电薄膜机电转换特性的方法。以下是关于IEC62047-30标准的详细解释：

1.引言：该标准提供了测量MEMS压电薄膜的基本方法和步骤，以确保在不同制造商和不同型号的设备之间进行公平的比较。

2.设备要求：为了准确测量MEMS压电薄膜的特性，需要适当的测量设备和环境。标准中详细说明了所需的设备，包括力传感器、电荷放大器、电源、温度控制系统等。

3.测量参数：标准中列出了用于评估MEMS压电薄膜性能的关键参数，包括机电转换系数、机电耦合系数、机械谐振频率、机械谐振品质因数等。

4.测量步骤：标准提供了详细的测量步骤，包括设备校准、样品准备、测量系统调整、数据采集和分析等。这些步骤确保了测量的准确性和可靠性。

5.环境影响：标准考虑了环境因素对MEMS压电薄膜性能的影响，包括温度、湿度、应力等。这些因素可能影响机电转换特性，因此需要进行适当的控制和校准。

6.数据解读：标准提供了解读测量数据的指南，包括趋势分析、异常值处理、误差分析等。这些指南有助于评估设备的性能和优化测量过程。

IEC62047-30标准为测量MEMS压电薄膜的机电转换特性提供了详细的方法和指南，以确保在不同制造商和不同型号的设备之间进行公平的比较。这些方法有助于评估设备的性能和优化生产过程。