【英语版】国际标准 IEC 62047-28:2017 EN Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices 半导体器件 - 微机电机械电子设备 - 第28部分：振动驱动MEMS电容性能量收集器件的性能测试方法.pdf

IEC62047-28:2017电气电子工程委员会（IEC）关于半导体设备部分（Semiconductordevices）关于微机电系统（MEMS）设备部分的第28部分（Micro-electromechanicaldevices）-振动驱动的MEMS电介体能量收集装置的性能测试方法。

IEC62047-28是一个关于MEMS设备性能测试的标准，具体涉及到振动驱动的电介体能量收集装置的性能测试方法。以下是这个标准中各部分的具体内容：

1.振动驱动的MEMS电介体能量收集装置：这部分主要描述了振动驱动的MEMS电介体能量收集装置的基本原理和工作方式。它利用振动产生的机械能，通过MEMS结构中的电介质材料，将机械能转化为电能。

2.性能测试方法：这部分详细描述了如何对这些振动驱动的MEMS电介体能量收集装置进行性能测试，包括但不限于测试设备的性能、收集装置的输出功率、能量转换效率、工作温度、环境适应性等。

测试方法通常包括以下几个步骤：

1.设备安装和连接：需要将收集装置正确地安装在测试设备上，并确保测试电路的正确连接。

2.参数设置：根据设备的性能要求，设置测试参数，如振动频率、振幅、工作温度等。

3.测试运行：按照设定的参数运行测试，记录收集装置的输出功率、环境温度、工作电流等数据。

4.结果分析：根据测试数据，计算能量转换效率、工作温度稳定性等性能指标，并与预期性能进行比较。

IEC62047-28标准为振动驱动的MEMS电介体能量收集装置的性能测试提供了一套详细、系统的测试方法，有助于保证产品的质量和性能。